[發明專利]一種加熱勻膠的旋涂裝置有效
| 申請號： | 201610120011.2 | 申請日： | 2016-03-03 |
| 公開（公告）號： | CN105689209B | 公開（公告）日： | 2018-09-25 |
| 發明（設計）人： | 汪竹;陳建鋒;曹喜喜;萬發能 | 申請（專利權）人： | 江蘇雷博科學儀器有限公司 |
| 主分類號： | B05C13/02 | 分類號： | B05C13/02;B05C9/14 |
| 代理公司： | 江陰市揚子專利代理事務所(普通合伙) 32309 | 代理人： | 陳強 |
| 地址： | 214434 江蘇省無*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 加熱 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種加熱勻膠的旋涂裝置，其特征在于：所述裝置包含有豎向設置的轉軸（5），所述轉軸（5）頂部套裝有一水平設置的載物盤（1），所述轉軸（5）上套裝有隔熱盤（4）和導電滑環（6），所述隔熱盤（4）上設置有一沉孔，加熱盤（3）套裝于轉軸（5）上并位于該沉孔內，該加熱盤（3）位于載物盤（1）的下方，且載物盤（1）和加熱盤（3）之間設置有一蓋板（2），上述隔熱盤（4）位于加熱盤（3）和導電滑環（6）之間，所述加熱盤（3）通過導電滑環（6）與電源相連接，所述載物盤（1）的底面上設置有多個溫度傳感器；所述溫度傳感器通過導電滑環（6）與外接溫控裝置相連接；所述載物盤（1）內部為中空腔體，且載物盤（1）的頂面上設置有多個與中空腔體相連通的吸附孔，所述轉軸（5）中心沿其軸向設置有一抽氣通道，該抽氣通道的頂端與中空腔體相連通。
2.如權利要求1所述一種加熱勻膠的旋涂裝置，其特征在于：所述轉軸（5）底部通過同步輪與電機軸傳動相連。
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