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[發明專利]一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法有效

專利信息
申請號: 201610119459.2 申請日: 2016-03-02
公開(公告)號: CN105776219B 公開(公告)日: 2019-01-15
發明(設計)人: 程志 申請(專利權)人: 安慶中凱信息技術咨詢有限公司
主分類號: C01B32/956 分類號: C01B32/956;C01B33/02;B03D1/018;B03D101/02
代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119 代理人: 程篤慶;黃樂瑜
地址: 246200 安徽省安慶市望江縣*** 國省代碼: 安徽;34
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摘要:
搜索關鍵詞: 一種 硅片 切削 廢液 碳化硅 回收 方法
【說明書】:

發明公開了一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法,包括如下步驟:取硅片切削廢液過濾,酸洗濾餅得到廢料;將廢料加入水中,升溫,攪拌保溫,加浮選溶液,攪拌,靜置,取上層溶液純化干燥得到碳化硅;取下層固體純化干燥得到硅;其中,浮選溶液的原料包括:煤油、十二烷基胺醋酸鹽、十八烯酸鈉、松節油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纖維素鈉、乙二酸、質量分數為30?36wt%鹽酸水溶液、水。本發明操作簡單,能耗低,回收得到的碳化硅和硅的純度高。

技術領域

本發明涉及碳化硅和硅的回收技術領域,尤其涉及一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法。

背景技術

太陽能因用之不竭,清潔環保和安全可靠等獨特優勢成為人類解決能源危機、環境污染和全球變暖首選新能源。目前,太陽能電池多以晶體硅為主要材料,太陽能電池所用的多晶硅,需要將高純的晶體硅切割成硅片。

晶體硅切割硅片的原理是,在以碳化硅顆粒作為磨料、聚乙二醇作為分散劑、水作為溶劑組成的水性切割液中,用金屬絲帶動碳化硅顆粒磨料進行研磨切割;由于切割絲的直徑和硅片的厚度很接近,這意味著在切割過程中會有高達50-52%的硅料成為鋸屑進入切割液;在切割過程中,隨著大量硅料屑和少量金屬屑逐漸進入切割液,最終導致切割液不能滿足切割要求而成為廢料漿。

廢漿料的主要成分有:30%左右的高純硅、30%左右的碳化硅、30%左右的聚乙二醇和水、5%左右的鐵雜質。其中高純硅的雜質少,回收利用價值高;碳化硅是高純的微粉,可回收利用。如果直接廢棄掉,會導致原材料的大量浪費,而且會對環境造成污染。因此需要提供一種能夠回收碳化硅和硅的方法。

發明內容

基于背景技術存在的技術問題,本發明提出了一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法,本發明操作簡單,能耗低,回收得到的碳化硅和硅的純度高。

本發明提出的一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法,包括如下步驟:取硅片切削廢液過濾,酸洗濾餅得到廢料;將廢料加入水中,升溫,攪拌保溫,加浮選溶液,攪拌,靜置,取上層溶液純化干燥得到碳化硅;取下層固體純化干燥得到硅;

其中,浮選溶液的原料包括:煤油、十二烷基胺醋酸鹽、十八烯酸鈉、松節油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纖維素鈉、乙二酸、質量分數為30-36wt%鹽酸水溶液、水。

優選地,包括如下步驟:取硅片切削廢液,加入降粘劑混勻,過濾,用濃度為2-3mol/l鹽酸水溶液洗濾餅40-50min,過濾干燥得廢料;將廢料加入水中,升溫至60-80℃,攪拌保溫15-25h,加浮選溶液,以200-400r/min的速度攪拌20-30min,靜置1-3h,取上層溶液,過濾,用乙醇和水依次洗滌,過濾,干燥得到碳化硅;取下層固體,過濾,用乙醇和水依次洗滌,過濾,干燥得到硅。

優選地,硅片切削廢液和降粘劑的體積比為10:3-5。

優選地,降粘劑為水或丙酮中的一種。

優選地,濾餅和濃度為2-3mol/l鹽酸水溶液的重量體積(g/ml)比為1:2-2.5。

優選地,廢料與水的重量體積(g/ml)比為2-4:170-330。

優選地,廢料與浮選溶液的重量體積(g/ml)比為0.8-1.2:40-60。

優選地,浮選溶液的原料按重量份包括:煤油20-40份,十二烷基胺醋酸鹽5-10份,十八烯酸鈉5-10份,松節油透醇1-3份,仲辛醇1-2份,磷酸乙二胺1-2份,磷酸丙二胺1-2份,羧甲基纖維素鈉0.5-1份,乙二酸0.5-1份,質量分數為30-36wt%鹽酸水溶液0.01-0.03份,水30-70份。

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