[發明專利]一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法

有效

• 申請號: 201610119459.2
• 申請日: 2016-03-02
• 公開（公告）號: CN105776219B
• 公開（公告）日: 2019-01-15
• 發明（設計）人: 程志
• 申請（專利權）人: 安慶中凱信息技術咨詢有限公司
• 主分類號: C01B32/956
• 分類號: C01B32/956;C01B33/02;B03D1/018;B03D101/02
• 代理公司: 合肥市長遠專利代理事務所(普通合伙) 34119
• 代理人: 程篤慶;黃樂瑜

1.一種硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，包括如下步驟：取硅片切削廢液，加入降粘劑混勻，過濾，用濃度為2-3mol/L 鹽酸水溶液洗濾餅40-50min，過濾干燥得廢料；將廢料加入水中，升溫至60-80℃，攪拌保溫15-25h，加浮選溶液，以200-400r/min的速度攪拌20-30min，靜置1-3h，取上層溶液，過濾，用乙醇和水依次洗滌，過濾，干燥得到碳化硅；取下層固體，過濾，用乙醇和水依次洗滌，過濾，干燥得到硅；

其中，浮選溶液的原料包括：煤油、十二烷基胺醋酸鹽、十八烯酸鈉、松節油透醇、仲辛醇、磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纖維素鈉、乙二酸、質量分數為30-36wt％鹽酸水溶液、水。

2.根據權利要求1所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，硅片切削廢液和降粘劑的體積比為10：3-5。

3.根據權利要求1或2所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，降粘劑為水或丙酮中的一種。

4.根據權利要求1或2所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，濾餅和濃度為2-3mol/L 鹽酸水溶液的重量體積比為1g：2-2.5mL 。

5.根據權利要求1或2所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，廢料與水的重量體積比為2-4g：170-330mL 。

6.根據權利要求1或2所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，廢料與浮選溶液的重量體積比為0.8-1.2g：40-60mL 。

7.根據權利要求1或2所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，浮選溶液的原料按重量份包括：煤油20-40份，十二烷基胺醋酸鹽5-10份，十八烯酸鈉5-10份，松節油透醇1-3份，仲辛醇1-2份，磷酸乙二胺1-2份，磷酸丙二胺1-2份，羧甲基纖維素鈉0.5-1份，乙二酸0.5-1份，質量分數為30-36wt％鹽酸水溶液0.01-0.03份，水30-70份。

8.根據權利要求1或2所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，浮選溶液的原料按重量份包括：煤油25-35份，十二烷基胺醋酸鹽6-8份，十八烯酸鈉7-9份，松節油透醇1.5-2.5份，仲辛醇1.2-1.8份，磷酸乙二胺1.3-1.7份，磷酸丙二胺1.2-1.8份，羧甲基纖維素鈉0.6-0.8份，乙二酸0.7-0.9份，質量分數為30-36wt％鹽酸水溶液0.015-0.025份，水40-60份。

9.根據權利要求1或2所述硅片切削廢液中碳化硅和硅的回收方法，其特征在于，浮選溶液的制備方法為：將水、十二烷基胺醋酸鹽、十八烯酸鈉混合均勻，升溫至30-50℃，加入煤油、松節油透醇、仲辛醇混合均勻，加入磷酸乙二胺、磷酸丙二胺、羧甲基纖維素鈉、乙二酸、質量分數為30-36wt％鹽酸水溶液混合均勻得到浮選溶液。