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[發明專利]半導體激光器巴條單元一致性檢測儀及其檢測方法有效

專利信息
申請號: 201610110814.X 申請日: 2016-02-29
公開(公告)號: CN105784330B 公開(公告)日: 2018-06-29
發明(設計)人: 曹軍勝;高志堅;尹紅賀 申請(專利權)人: 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所
主分類號: G01M11/02 分類號: G01M11/02
代理公司: 長春菁華專利商標代理事務所(普通合伙) 22210 代理人: 劉慧宇
地址: 130033 吉*** 國省代碼: 吉林;22
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 巴條 微控制器系統 線陣CCD 發光點 半導體激光器 程控電流源 一致性檢測儀 光學透鏡 探針臺 電極 檢測 檢測技術領域 讀取 輸出端連接 光電特性 掃描電流 樣本計算 一維導軌 激光器 均勻性 一次線 方差 探針 成像 飽和 采集 驅動
【權利要求書】:

1.半導體激光器巴條單元一致性檢測儀的檢測方法,其特征是,包括以下步驟:

步驟一,將探針臺(1)、光學透鏡(2)和線陣CCD(3)均安裝于一維導軌(6)上;線陣CCD(3)和程控電流源(5)均與微控制器系統(4)連接;被測巴條(7)安裝于探針臺(1)上,程控電流源(5)的輸出端連接探針臺(1)的電極,電極與被測巴條(7)連接;

步驟二,微控制器系統(4)控制程控電流源(5)產生步進掃描電流用于驅動被測巴條(7),被測巴條(7)的各發光點經過光學透鏡(2)成像于線陣CCD(3),微控制器系統(4)通過線陣CCD(3)采集被測巴條(7)各發光點的亮度峰值,掃描電流每增大一步,微控制器系統(4)就讀取一次線陣CCD(3),直至有發光點的亮度峰值達到線陣CCD(3)的飽和值為止;

步驟三,微控制器系統(4)以步驟二中被測巴條(7)各發光點的亮度為樣本計算其方差,作為評價被測巴條(7)各單元一致性的指標,方差越大說明一致性越差,方差越小則說明一致性越好;設被測巴條(7)有n個發光點,所測各發光點的亮度值分別為x1、x2、...、xn,則方差s2的計算公式為:

其中,

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