[發(fā)明專利]半導(dǎo)體激光器巴條單元一致性檢測儀及其檢測方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610110814.X | 申請日： | 2016-02-29 |
| 公開（公告）號： | CN105784330B | 公開（公告）日： | 2018-06-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 曹軍勝;高志堅;尹紅賀 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所 |
| 主分類號： | G01M11/02 | 分類號： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 長春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 劉慧宇 |
| 地址： | 130033 吉*** | 國省代碼： | 吉林;22 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 巴條 微控制器系統(tǒng) 線陣CCD 發(fā)光點 半導(dǎo)體激光器 程控電流源 一致性檢測儀 光學(xué)透鏡 探針臺 電極 檢測 檢測技術(shù)領(lǐng)域 讀取 輸出端連接 光電特性 掃描電流 樣本計算 一維導(dǎo)軌 激光器 均勻性 一次線 方差 探針 成像 飽和 采集 驅(qū)動 | ||
半導(dǎo)體激光器巴條單元一致性檢測儀及其檢測方法，屬于半導(dǎo)體激光器的檢測技術(shù)領(lǐng)域，為了檢測激光器巴條各單元光電特性的均勻性，將探針臺、光學(xué)透鏡和線陣CCD均安裝于一維導(dǎo)軌上；線陣CCD和程控電流源均與微控制器系統(tǒng)連接；被測巴條安裝于探針臺上，程控電流源的輸出端連接探針臺的電極，電極與被測巴條連接；微控制器系統(tǒng)控制程控電流源驅(qū)動被測巴條，被測巴條的各發(fā)光點經(jīng)過光學(xué)透鏡成像于線陣CCD，微控制器系統(tǒng)通過線陣CCD采集被測巴條各發(fā)光點的亮度峰值，掃描電流每增大一步，微控制器系統(tǒng)就讀取一次線陣CCD，直至有發(fā)光點的亮度峰值達到線陣CCD的飽和值為止；微控制器系統(tǒng)以被測巴條各發(fā)光點的亮度為樣本計算其方差。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種半導(dǎo)體激光器巴條單元一致性檢測儀及其檢測方法，屬于半導(dǎo)體激光器的檢測技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)
半導(dǎo)體激光器及其陣列因其體積小、重量輕、效率高、成本低等優(yōu)點已經(jīng)在工業(yè)、醫(yī)療、通信、軍事等諸多領(lǐng)域獲得了廣泛的應(yīng)用。隨著半導(dǎo)體激光器及其陣列應(yīng)用的日益廣泛，如何準(zhǔn)確、方便地檢測器件的性能，對其可靠性進行評價是一項非常重要的工作，具有重要的現(xiàn)實意義。
激光器巴條是激光器陣列的基本組成單元，既可以單獨應(yīng)用，也可進一步組成線陣和疊陣，因此許多關(guān)于陣列特性的測試都是基于巴條的。目前對于陣列激光器的測試，除了常規(guī)光電參數(shù)外，可靠性方面主要測量其smile彎曲程度(PV值)。僅測量smile存在一定局限性，即無法了解巴條各單元光電特性的一致性。巴條單元光電特性的一致性(或均勻性)是巴條可靠性的關(guān)鍵，均勻性較差的器件一定是不可靠器件，一致性差的器件各單元電流分配不均，可能出現(xiàn)部分單元工作電流過載而另外一部分尚沒有激射的情況。
發(fā)明內(nèi)容
為了便于檢測激光器巴條各單元光電特性的均勻性，本發(fā)明提供了一種半導(dǎo)體激光器巴條單元一致性檢測儀，主要采用程控電流源配合線陣CCD來檢測巴條各單元在閾值附近的亮度，并計算其方差來表征巴條各單元的一致性。
本發(fā)明所采用的技術(shù)方案如下：
半導(dǎo)體激光器巴條單元一致性檢測儀，其特征是，其包括探針臺、光學(xué)透鏡、線陣CCD、微控制器系統(tǒng)、程控電流源和一維導(dǎo)軌；探針臺、光學(xué)透鏡和線陣CCD均安裝于一維導(dǎo)軌上；線陣CCD和程控電流源均與微控制器系統(tǒng)連接，受微控制器系統(tǒng)控制；程控電流源的輸出端連接探針臺的電極，電極與被測巴條連接。
被測巴條安裝于探針臺上，微控制器系統(tǒng)控制程控電流源產(chǎn)生步進掃描電流用于驅(qū)動被測巴條，被測巴條的各發(fā)光點經(jīng)過光學(xué)透鏡成像于線陣CCD，微控制器系統(tǒng)通過線陣CCD采集被測巴條各發(fā)光點的亮度峰值。
基于半導(dǎo)體激光器巴條單元一致性檢測儀的檢測方法，其特征是，包括以下步驟：
步驟一，將探針臺、光學(xué)透鏡和線陣CCD均安裝于一維導(dǎo)軌上；線陣CCD和程控電流源均與微控制器系統(tǒng)連接；被測巴條安裝于探針臺上，程控電流源的輸出端連接探針臺的電極，電極與被測巴條連接；
步驟二，微控制器系統(tǒng)控制程控電流源產(chǎn)生步進掃描電流用于驅(qū)動被測巴條，被測巴條的各發(fā)光點經(jīng)過光學(xué)透鏡成像于線陣CCD，微控制器系統(tǒng)通過線陣CCD采集被測巴條各發(fā)光點的亮度峰值，掃描電流每增大一步，微控制器系統(tǒng)讀取一次線陣CCD，直至有發(fā)光點的亮度峰值達到線陣CCD的飽和值為止；
步驟三，微控制器系統(tǒng)以步驟二中被測巴條各發(fā)光點的亮度為樣本計算其方差，作為評價被測巴條各單元一致性的指標(biāo)，方差越大說明一致性越差，方差越小則說明一致性越好；設(shè)被測巴條有n個發(fā)光點，所測各發(fā)光點的亮度值分別為x1、x2、...、xn，則方差s2的計算公式為：
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