[發明專利]一種CSP共晶焊接方法有效
| 申請號: | 201610104163.3 | 申請日: | 2016-02-26 |
| 公開(公告)號: | CN105609439B | 公開(公告)日: | 2018-04-20 |
| 發明(設計)人: | 賈辰宇;孫智江 | 申請(專利權)人: | 海迪科(南通)光電科技有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/60 | 分類號: | H01L21/60;B23K37/00;B23K37/04 |
| 代理公司: | 北京一格知識產權代理事務所(普通合伙)11316 | 代理人: | 滑春生 |
| 地址: | 226500 江蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 csp 焊接 方法 | ||
1.一種CSP共晶焊接方法,其特征在于:所述共晶焊接方法包括如下步驟:
(1)點共晶焊錫:通過固晶機把共晶焊錫點在COB基板電路上;
(2)固晶:通過固晶機把若干顆CSP芯粒固定在點有共晶焊錫的COB基板電路上;
(3)共晶:將固晶后的COB基板放置在300℃~400℃的高溫軌道上,通過壓合裝置同時下壓COB基板上的芯粒,將芯粒與共晶焊錫同時壓合,達到共晶焊;壓合分為三個階段,第一壓合階段以8g/s~12g/s的速度逐漸增加壓合壓力,壓合時間為40s,第二壓合階段以40s時所達壓力進行壓合40s,第三壓合階段以16g/s~24g/s的速度逐漸減緩壓合壓力,壓合時間為20s;
(4)點膠:把熒光粉和膠水充分攪拌均勻,制得熒光粉膠,熒光粉膠真空脫泡后,通過點膠機臺噴涂在共晶后的COB基板表面,并對熒光粉膠進行膠固化;
(5)測試包裝:待步驟(4)中COB基板表面的熒光粉膠固化后,進行性能測試,測試合格的CSP成品進行包裝。
2.根據權利要求1所述的CSP共晶焊接方法,其特征在于:所述步驟(3)中的壓合裝置包括施壓部件和驅動施壓部件的驅動裝置,所述施壓部件包括一壓塊,且所述壓塊的下表面均勻分布有垂直向下的金屬探針;所述驅動裝置為彈簧壓合或氣壓。
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H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個器件所使用的除半導體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





