[發明專利]一種極微細鍵合混合合金絲及其制作方法

在審

• 申請號: 201610092089.8
• 申請日: 2016-02-18
• 公開（公告）號: CN105543532A
• 公開（公告）日: 2016-05-04
• 發明（設計）人: 程平;李明;鄭東風
• 申請（專利權）人: 安徽華晶微電子材料科技有限公司
• 主分類號: C22C5/06
• 分類號: C22C5/06;C22C5/02;C22C1/02;C22F1/14
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種極微細鍵合混合合金絲，其特征在于：該混合合金絲以 高純銀Ag為主量，添加次量高純金Au、高純鈀Pd、高純鉑Pt及高 純銠Rh；或者以高純金Au為主量，添加次量高純銀Ag、高純鈀Pd、 高純鉑Pt及高純銠Rh元素，混合熔鑄拉拔而成的極微細混合合金絲 線。

2.根據權利要求1所述一種極微細鍵合混合合金絲，其特征在 于：所述以高純銀Ag為主量，即高純銀的質量百分含量為50％～90％， 添加次量高純金Au、高純鈀Pd、高純鉑Pt及高純銠Rh總的質量百 分含量為10％～50％；或者以高純金Au為主量，即高純金的質量百分 含量為50％～90％，添加次量高純銀Ag、高純鈀Pd、高純鉑Pt及高 純銠Rh總的質量百分含量為10％～50％。

3.根據權利要求1或2所述一種極微細鍵合混合合金絲，其特 征在于：所述高純銀Ag或高純金Au的純度在99.99％以上，高純鈀 Pd、高純鉑Pt及高純銠Rh的純度在99.9％以上。

4.一種制作如權利要求3所述的極微細鍵合混合合金絲的方法， 其特征在于：該制作方法的步驟如下：

(1)固態混合：取主量高純銀Ag與次量高純金Au、高純鈀Pd、 高純鉑Pt、高純銠Rh，或者取主量高純金Au與次量高純銀Ag、高 純鈀Pd、高純鉑Pt、高純銠Rh于固態混合；

(2)熔鑄混合合金母材：將步驟(1)得到的固態混合物放置于 同一單晶連鑄爐的坩堝內抽真空加熱至全部金屬溶化，在液態混合熔 煉均勻后定向凝固、連鑄成8mm混合合金母材棒；

(3)拉拔絲材：將步驟(2)得到的8mm混合合金母材棒經過大 拉、中拉、小拉、細拉、微拉工序拉拔成直徑0.01mm～0.03mm的混 合合金絲；

(4)清洗退火：將步驟(3)得到的混合合金絲進行清洗、退火、 風干；

(5)復繞分卷：根據不同用途復繞分巻，包裝成品。