[發明專利]環狀液體收集裝置

有效

• 申請號: 201610090995.4
• 申請日: 2016-02-18
• 公開（公告）號: CN107093567B
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 蘇左將;張宏源;張芳丕
• 申請（專利權）人: 頂程國際股份有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京中譽威圣知識產權代理有限公司 11279
• 代理人: 王正茂;叢芳

1.一種環狀液體收集裝置，其特征在于，所述環狀液體收集裝置包含：

環形外殼；

多個液體收集板，其安裝于所述環形外殼中；

多個軟質折疊層，其分別安裝于所述多個液體收集板之間；以及

多個收集板延伸支架，其分別連接于對應的所述多個液體收集板，以分別改變所述多個液體收集板的高度，使所述多個軟質折疊層其中一個呈現伸張狀態，以進行液體回收。

2.如權利要求1所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，所述環形外殼還包含升降器開槽，以使所述多個收集板延伸支架經由所述升降器開槽，由所述環形外殼內部向外延伸。

3.如權利要求2所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，所述環狀液體收集裝置還包含收集板升降裝置，以及多個收集板垂直升降器分別連接對應的所述多個收集板延伸支架，以改變所述多個液體收集板的高度。

4.如權利要求3所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，上述的收集板升降裝置是液壓收集板升降裝置、氣壓收集板升降裝置或馬達收集板升降裝置。

5.如權利要求4所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，至少其中一個所述液體收集板能夠向上升高并超過所述環形外殼的高度。

6.如權利要求5所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，所述環狀液體收集裝置還包含多個泄流口，其分別安裝于對應的所述多個液體收集板，以將回收的所述液體向外排出至外部回收裝置。

7.如權利要求6所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，所述多個液體收集板由內側向外側與向下傾斜，以將回收的所述液體排出至所述外部回收裝置。

8.如權利要求7所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，所述環狀液體收集裝置還包含主排氣裝置與多個排氣閥，所述多個排氣閥分別安裝于對應的所述多個液體收集板，以將廢氣排出所述環狀液體收集裝置。

9.如權利要求8所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，所述環狀液體收集裝置還包含間隙排氣閥，其安裝于所述環形外殼，以將所述多個液體收集板與所述環形外殼之間的廢氣排出所述環狀液體收集裝置。

10.如權利要求9所述的環狀液體收集裝置，其特征在于，所述環狀液體收集裝置還包含轉盤，其位于所述環狀液體收集裝置中，以放置基材于其上，進行濕式蝕刻。