[發(fā)明專利]蝕刻劑組合物和利用它形成金屬圖案的方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610090986.5 | 申請(qǐng)日： | 2016-02-18 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN105970227A | 公開（公告）日： | 2016-09-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李智娟;李恩遠(yuǎn);金童基;崔容碩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 東友精細(xì)化工有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C23F1/44 | 分類號(hào)： | C23F1/44;C23F1/26;C23F1/20;H01L21/3213 |
| 代理公司： | 北京度衡知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11601 | 代理人： | 鐘錦舜 |
| 地址： | 韓國(guó)全*** | 國(guó)省代碼： | 韓國(guó);KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 蝕刻 組合 利用 形成 金屬 圖案 方法 | ||
【說明書】：
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