[發明專利]蝕刻劑組合物和利用它形成金屬圖案的方法在審
| 申請號: | 201610090986.5 | 申請日: | 2016-02-18 |
| 公開(公告)號: | CN105970227A | 公開(公告)日: | 2016-09-28 |
| 發明(設計)人: | 李智娟;李恩遠;金童基;崔容碩 | 申請(專利權)人: | 東友精細化工有限公司 |
| 主分類號: | C23F1/44 | 分類號: | C23F1/44;C23F1/26;C23F1/20;H01L21/3213 |
| 代理公司: | 北京度衡知識產權代理有限公司 11601 | 代理人: | 鐘錦舜 |
| 地址: | 韓國全*** | 國省代碼: | 韓國;KR |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 蝕刻 組合 利用 形成 金屬 圖案 方法 | ||
【權利要求書】:
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