[發明專利]曝光機及曝光燈的更換方法

有效

• 申請號: 201610087845.8
• 申請日: 2016-02-16
• 公開（公告）號: CN105487352B
• 公開（公告）日: 2017-06-27
• 發明（設計）人: 龔冰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02F1/13
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所44265
• 代理人: 林才桂

技術領域

本發明涉及顯示技術領域，尤其涉及一種曝光機及曝光燈的更換方法。

背景技術

液晶顯示裝置(Liquid Crystal Display，LCD)具有機身薄、省電、無輻射等眾多優點，得到了廣泛的應用，如：移動電話、個人數字助理(PDA)、數字相機、計算機屏幕或筆記本電腦屏幕等。

現有市場上的液晶顯示裝置大部分為背光型液晶顯示裝置，其包括殼體、設于殼體內的液晶顯示面板及設于殼體內的背光模組(Backlight module)。液晶顯示面板的結構是由一彩色濾光片基板(Color Filter Substrate)、一薄膜晶體管陣列基板(Thin Film Transistor Array Substrate，TFT Array Substrate)以及一配置于兩基板間的液晶層(Liquid Crystal Layer)所構成，其中在陣列基板上排布有許多豎直的數據線(Data Line)和水平的柵極掃描線(Gate Line)。液晶顯示面板的工作原理是通過在兩片玻璃基板上施加驅動電壓來控制液晶層的液晶分子的旋轉，將背光模組的光線折射出來產生畫面。

在液晶顯示面板的制造過程中，會多次利用曝光工藝。具體為，在涂有光刻膠的基板上方放置光罩，然后利用曝光機對基板進行曝光。請參閱圖1，為一種現有的曝光機的結構示意圖，包括外殼100、設于所述外殼100中的集光鏡200、及設于所述集光鏡200中的曝光燈300。曝光工藝的主要原理就是通過曝光燈300的照射，將光罩(Mask)上的圖形轉印到玻璃基板上。因此，曝光機的燈源非常重要，通常使用的曝光燈為高壓水銀燈，曝光燈有一定的使用壽命，當達到規定使用時間或照度降低時，需要更換曝光燈。更換曝光燈的基本步驟為：關燈—等待降溫—換燈—開燈—等待升溫—測量照度—參數設定。整個過程大概需要3h時間。其中等待降溫和等待升溫的時間，就分別需要約40min，因而使得換燈時間過長，影響設備稼動率。

另外，曝光機的集光鏡為整個光學系統中非常重要的一個部分，曝光燈即放置在集光鏡中，因為換燈的原因，集光鏡上容易沾有異物或灰塵，會影響曝光燈的集光效果和均一性，會對產品造成影響。但是集光鏡的清潔非常困難，直接接觸式的清潔(如無塵布擦拭等)容易因掌握不好力度而劃傷或損壞集光鏡表面，造成集光鏡報廢，損失巨大。

因此，有必要提供一種曝光機及曝光燈的更換方法，以解決上述問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種曝光機，在需要更換曝光燈時可使曝光燈實現快速降溫，并可避免更換曝光燈的過程中造成集光鏡上粘附異物或灰塵。

本發明的目的還在于提供一種曝光燈的更換方法，可使曝光燈實現快速降溫，并可避免更換曝光燈的過程中造成集光鏡上粘附異物或灰塵。

為實現上述目的，本發明提供一種曝光機，包括外殼、設于所述外殼中的上端開口的集光鏡、設于所述集光鏡中的曝光燈、及設于所述外殼頂部的外圍且末端的出氣孔朝下的數個噴氣裝置；所述數個噴氣裝置可在所述集光鏡的上方進行伸縮；

當曝光機正常工作時，所述數個噴氣裝置縮回至所述外殼頂部的外圍而不影響正常曝光時光源的走向；

當需要更換曝光燈時，關閉曝光燈后，通過將所述數個噴氣裝置伸出至其末端的出氣孔位于所述集光鏡邊緣區域的上方，對所述集光鏡的內部及曝光燈進行噴氣，從而使所述曝光燈實現快速降溫。

所述數個噴氣裝置噴出壓縮空氣。

所述數個噴氣裝置通過氣缸進行驅動實現伸縮。

所述數個噴氣裝置的噴氣量可調節。

所述集光鏡的底部設有排塵孔；當所述噴氣裝置向所述集光鏡內部噴氣時，所述集光鏡上粘附的異物或灰塵被吹起后通過所述排塵孔排出至所述集光鏡外部。

所述集光鏡的上端開口呈圓形；所述集光鏡的內部呈曲面狀。

所述噴氣裝置的數量為8個，并圍繞所述集光鏡均勻分布。

所述曝光燈為水銀燈。

本發明還提供一種曝光燈的更換方法，包括如下步驟：

步驟1、提供曝光機，所述曝光機包括外殼、設于所述外殼中的上端開口的集光鏡、設于所述集光鏡中的曝光燈、及設于所述外殼頂部的外圍且末端的出氣孔朝下的數個噴氣裝置；所述數個噴氣裝置可在所述集光鏡的上方進行伸縮；關閉所述曝光燈；

步驟2、將所述數個噴氣裝置伸出至其末端的出氣孔位于所述集光鏡邊緣區域的上方，對所述集光鏡的內部及曝光燈進行噴氣，從而使所述曝光燈實現快速降溫；

步驟3、提供新曝光燈，對降溫后的曝光燈進行更換。