[發明專利]曝光機及曝光燈的更換方法

有效

• 申請號: 201610087845.8
• 申請日: 2016-02-16
• 公開（公告）號: CN105487352B
• 公開（公告）日: 2017-06-27
• 發明（設計）人: 龔冰
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;G02F1/13
• 代理公司: 深圳市德力知識產權代理事務所44265
• 代理人: 林才桂

1.一種曝光燈的更換方法，其特征在于，包括如下步驟：

步驟1、提供曝光機，所述曝光機包括外殼(1)、設于所述外殼(1)中的上端開口的集光鏡(2)、設于所述集光鏡(2)中的曝光燈(3)、及設于所述外殼(1)頂部的外圍且末端的出氣孔朝下的數個噴氣裝置(4)；所述數個噴氣裝置(4)可在所述集光鏡(2)的上方進行伸縮；關閉所述曝光燈(3)；

步驟2、將所述數個噴氣裝置(4)伸出至其末端的出氣孔位于所述集光鏡(2)邊緣區域的上方，對所述集光鏡(2)的內部及曝光燈(3)進行噴氣，從而使所述曝光燈(3)實現快速降溫；

步驟3、提供新曝光燈，對降溫后的曝光燈(3)進行更換。

2.如權利要求1所述的曝光燈的更換方法，其特征在于，所述集光鏡(2)的底部設有排塵孔(21)；所述步驟2中通過所述噴氣裝置(4)向所述集光鏡(2)內部噴氣時，所述集光鏡(2)上粘附的異物或灰塵被吹起后通過所述排塵孔(21)排出至所述集光鏡(2)外部。