[發明專利]實現冗余功能存儲器芯片測試的方法

有效

• 申請號: 201610086766.5
• 申請日: 2016-02-16
• 公開（公告）號: CN105761760B
• 公開（公告）日: 2019-01-04
• 發明（設計）人: 朱淵源
• 申請（專利權）人: 上海華虹宏力半導體制造有限公司
• 主分類號: G11C29/56
• 分類號: G11C29/56
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 王江富

本發明公開了一種實現冗余功能存儲器芯片測試的方法，其把存儲器芯片主區域測試向量按最小冗余單元進行分割，做成子測試向量組；針對每個測試項目分別運行子測試向量組，讀出子測試向量組的每個向量的測試結果；把失效向量的序號換算成失效單元地址存放在內存變量中，不同測試項目的子測試向量組測試出的失效單元地址存放在不同的內存變量中，并累積計算每個測試項目的失效單元個數及地址；根據每個測試項目的失效單元個數及地址，統計得出存儲器芯片主區域失效單元數的總和以及失效地址。本發明的實現冗余功能存儲器芯片測試的方法，可以利用自帶數字向量發生器的數字測試機實現和存儲器測試機相同的冗余功能存儲器芯片測試，降低測試成本。

技術領域

本發明涉及芯片測試技術，特別涉及了一種實現冗余功能存儲器芯片測試的方法。

背景技術

目前在測試存儲器芯片(Memory IC)時為了提高測試良品率，會增加冗余單元(Redundancy Sector)，作用是當檢測到芯片主區域(main array)有失效單元(fail bitcell)時，可以用冗余單元來替換主區域的失效單元，替換方式一般有硬件替換和軟件替換兩種，現在比較通用方法是軟件替換。

要測試這類芯片一般需要用專用的存儲器測試機(Memory Tester)，因為存儲器測試機會帶有一種特殊的RAM，用來存儲被測芯片(DUT)失效單元的地址，一般簡稱ECR或AFM(見附圖1)。這塊RAM可以記錄測試流程中各個測試項累計測試的失效單元地址，并在流程最后統計出失效單元數的總和以及失效地址，用冗余單元來替換失效單元。以上是存儲器測試機用ECR來測試帶冗余功能芯片的測試機理，非常方便，但存儲器測試機一般來說價格比較昂貴，并且使用ECR或AFM需要支付一定的有償許可(license)。

存儲器測試機(Memory Tester)一測試實例如圖1所示，某存儲器芯片由X地址10個單元、Y地址8個單元組成，測試流程包含3個測試項，第1個項目失效單元是(0，0)、(3，2)存儲地址，第2個項目失效單元是(6，2)、(4，5)存儲地址，第3個項目失效單元是(3，2)、(8，7)存儲地址。在實際測試過程中，存儲器測試機(Memory Tester)的ECR可以記錄測試流程中各個測試項累計測試的失效單元地址，第1個項目ECR記錄的失效個數是2，失效單元是(0，0)、(3，2)存儲地址，第2個項目ECR記錄的失效個數是4，失效單元是(0，0)、(3，2)、(6，2)、(4，5)存儲地址，第3個項目ECR記錄的失效個數是5，失效單元是(0，0)、(3，2)、(6，2)、(4，5)、(8，7)，并在流程最后統計出失效單元數的總和以及失效地址。該實例中，因為(3，2)地址在第1個項目及第3個項目中都有失效，ECR不會重復統計，因此最后統計出的失效地址個數是5，并且(3，2)地址不會重復統計。在最后，存儲器測試機(Memory Tester)會通過特殊模式用冗余單元來替換失效單元，見附圖2，以確保測試通過后到后端用戶處的芯片是良品。

數字測試機(Digital Tester)價格相對比較低，但數字測試機不具備ECR或AFM模塊，所以要實現冗余功能測試會相當有難度，如何用數字測試機具備測試冗余單元的存儲器芯片成為了測試工程師的巨大挑戰。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是提供一種實現冗余功能存儲器芯片測試的方法，可以利用自帶數字向量發生器的數字測試機實現和存儲器測試機相同的冗余功能存儲器芯片測試，降低測試成本。

為解決上述技術問題，本發明提供的實現冗余功能存儲器芯片測試的方法，其包括以下步驟：

一、把存儲器芯片主區域測試向量按最小冗余單元進行分割，做成子測試向量組；

二、針對每個測試項目分別運行子測試向量組，讀出子測試向量組的每個向量的測試結果；

三、把失效向量的序號換算成失效單元地址存放在內存變量中，不同測試項目的子測試向量組測試出的失效單元地址存放在不同的內存變量中，并累積計算每個測試項目的失效單元個數及地址；