[發明專利]一種PPT級超純氨水的制備方法在審
| 申請號： | 201610086184.7 | 申請日： | 2016-02-16 |
| 公開（公告）號： | CN105523570A | 公開（公告）日： | 2016-04-27 |
| 發明（設計）人： | 曹文明;吳國新;張海 | 申請（專利權）人： | 江蘇達諾爾科技股份有限公司 |
| 主分類號： | C01C1/02 | 分類號： | C01C1/02 |
| 代理公司： | 北京瑞思知識產權代理事務所(普通合伙) 11341 | 代理人： | 張建生 |
| 地址： | 215500 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 ppt 級超純 氨水 制備 方法 | ||
1.一種PPT級超純氨水的制備方法，其特征在于，包括依次且連續進行的如下步驟：
（1）汽化：利用壓縮機將液態氨從原料罐壓送至蒸發器內利用熱蒸汽蒸發成為氨氣；
（2）凈化過濾：將步驟（1）中汽化后的氨氣依次通過排水分離器和活性碳吸附器得到凈 化后的氨氣；
（3）樹脂吸附：將步驟（2）中凈化過濾后的氨氣經過吸附樹脂吸附除油處理；
（4）洗滌：將經步驟（3）中樹脂吸附后的氨氣用超純水和飽和氨水洗滌除雜；
（5）水氣分離：將步驟（4）中洗滌除雜后的氨氣用水氣分離器分離成水氣和氨氣；
（6）多級吸收：將步驟（5）中水氣分離后的氨氣通過吸收塔，并用超純水進行多級吸收， 形成氨水；
（7）超濾：將步驟（6）中得到的氨水進行超濾處理，得到所述PPT級超純氨水。
2.根據權利要求1所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述制備方法還包括將多 級吸收后的氨水先經過冷卻設備進行降溫、降壓處理，然后進行步驟（7）的超濾處理；經所 述冷卻設備處理后的氨水溫度小于20℃，壓力小于0.1MPa。
3.根據權利要求1所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述步驟（1）中，所述蒸發 器為間壁換熱式降壓蒸發器，其內襯材質為PFA材質。
4.根據權利要求1所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述步驟（3）中，所述吸附 樹脂為聚苯乙烯吸附樹脂。
5.根據權利要求4所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述吸附樹脂的孔徑為 0.005～0.01μm。
6.根據權利要求1所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述步驟（6）中，所述超純 水的電阻率大于18.2MΩ·cm。
7.根據權利要求6所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述超純水為無硼超純 水。
8.根據權利要求1所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述水氣分離器和吸收塔 的內襯均為PFA材質，其中，所述吸收塔為單塔多級吸收塔。
9.根據權利要求1所述的超純氨水的制備方法，其特征在于，所述PPT級超純氨水中，大 于等于0.5μm顆粒濃度小于3p/ml，大于等于0.2μm顆粒濃度小于30p/ml，單項金屬離子含 量小于30ppt。
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