[發明專利]具備鼓風機的激光振蕩器

有效

• 申請號: 201610084030.4
• 申請日: 2016-02-06
• 公開（公告）號: CN105896238B
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發明（設計）人: 西尾明彥
• 申請（專利權）人: 發那科株式會社
• 主分類號: H01S3/036
• 分類號: H01S3/036
• 代理公司: 北京銀龍知識產權代理有限公司11243
• 代理人: 曾賢偉,郝慶芬

技術領域

本發明涉及一種具備鼓風機的激光振蕩器。

背景技術

已知一種技術，即在使激光振蕩器的動作暫時停止時，對激光振蕩器的激光介質流路內的激光介質的壓力進行控制(例如，日本特開2011-228624號公報)。

在上述現有技術中，問題在于，在解除激光振蕩器的暫時停止并開始生成激光時，激光介質的壓力由于熱影響等上升至生成激光時的壓力目標值以上。

發明內容

在本發明的一個方式中，激光振蕩器具備：控制部；激光介質流路，其形成激光介質的流路；諧振器部，其使用流過激光介質流路的激光介質生成激光；以及鼓風機，其在激光介質流路中使激光介質流動。

另外，激光振蕩器具備：壓力檢測部，其檢測激光介質流路中的激光介質的壓力；激光介質供排部，其向激光介質流路供給激光介質，從激光介質流路排出激光介質；以及暫時停止指令部，其向控制部指示諧振器部的激光生成的暫時停止。

控制部在暫時停止指令部指示暫時停止前，控制鼓風機使得該鼓風機以預定的第一轉速進行旋轉，并且控制激光介質供排部使得壓力成為第一目標值。

另外，控制部在暫時停止指令部指示暫時停止時，控制諧振器部使激光的生成動作停止，控制鼓風機使該鼓風機的轉速減速至小于第一轉速的第二轉速。

此時，控制部控制激光介質供排部使得壓力成為第二目標值。在此，將該第二目標值設定為比鼓風機的轉速成為第二轉速的時刻的壓力低的值。

也可以使用P₂＝P_n-P_n×ΔP_a/P₁的式子求出第二目標值P₂。在此，P₁為第一目標值，P₂為第二目標值，P_n為鼓風機的轉速成為第二轉速的時刻的壓力，ΔP_a為使控制部已停止的諧振器部的動作恢復時的壓力的上升幅度。第二轉速也可以為零。

附圖說明

圖1是本發明的一個實施方式所涉及的激光振蕩器的圖。

圖2是圖1示出的激光振蕩器的框圖。

圖3是表示圖1示出的激光振蕩器的動作流程的一例的流程圖。

圖4是表示時間t與鼓風機的轉速R之間的關系的圖表。

圖5是表示在將第二目標值P₂設定為在圖3中的步驟S5判斷為“是”的時刻的壓力P_n的情況下的、時間t與激光介質的壓力P之間的關系的圖表。

圖6是表示在將第二目標值P₂設定為比在圖3中的步驟S5判斷為“是”的時刻的壓力P_n低的值的情況下的、時間t與激光介質的壓力P之間的關系的圖表。

具體實施方式

以下，根據附圖詳細說明本發明的實施方式。首先，參照圖1和圖2說明本發明的一個實施方式所涉及的激光振蕩器10。

激光振蕩器10具備控制部12、諧振器部14、激光介質流路16、鼓風機18、壓力檢測部20、激光介質供排部22以及暫時停止指令部24。控制部12直接或者間接地控制激光振蕩器10的各結構要素。

諧振器部14根據來自控制部12的指令生成激光。具體地說，諧振器部14具有輸出鏡26、后視鏡27以及放電管28。輸出鏡26與后視鏡27相互相對地配置。放電管28為中空的要素，配置在輸出鏡26與后視鏡27之間。

輸出鏡26由具有99％以上反射率的部分反射鏡(所謂半反射鏡)構成。另一方面，后視鏡27由全反射鏡構成。放電管28內部與激光介質流路16連通。

放電管28具有相互相對配置的放電電極(未圖示)，這些放電電極與激光電源29進行電連接。激光電源29根據來自控制部12的指令，對放電電極施加電壓。

對放電管28內部供給二氧化碳、氮氣、氬氣等激光介質。當對放電電極施加電壓時，通過在放電電極之間產生的放電激勵激光介質，并生成激光。在放電管28內生成的激光在輸出鏡26與后視鏡27之間通過光諧振而被放大，通過輸出鏡26作為輸出激光30向外部射出。

激光介質流路16與放電管28內部連通，形成在放電管28內部流動的激光介質的流路。具體地說，激光介質流路16由與放電管28的一端和另一端相連接的閉環的流路管構成。在激光介質流路16封裝激光介質。