[發(fā)明專利]具備鼓風機的激光振蕩器

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201610084030.4
• 申請日: 2016-02-06
• 公開（公告）號: CN105896238B
• 公開（公告）日: 2018-04-17
• 發(fā)明（設計）人: 西尾明彥
• 申請（專利權(quán)）人: 發(fā)那科株式會社
• 主分類號: H01S3/036
• 分類號: H01S3/036
• 代理公司: 北京銀龍知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司11243
• 代理人: 曾賢偉,郝慶芬

1.一種激光振蕩器，其特征在于，

具備：

控制部；

激光介質(zhì)流路，其形成激光介質(zhì)的流路；

諧振器部，其使用流過上述激光介質(zhì)流路的上述激光介質(zhì)生成激光；

鼓風機，其使上述激光介質(zhì)在上述激光介質(zhì)流路中流動；

壓力檢測部，其檢測上述激光介質(zhì)流路中的上述激光介質(zhì)的壓力；

激光介質(zhì)供排部，其向上述激光介質(zhì)流路供給上述激光介質(zhì)，從上述激光介質(zhì)流路排出上述激光介質(zhì)；以及

暫時停止指令部，其向上述控制部指示上述諧振器部的激光生成的暫時停止，

在上述暫時停止指令部指示暫時停止前，上述控制部控制上述鼓風機使得上述鼓風機以預定的第一轉(zhuǎn)速進行旋轉(zhuǎn)，并且控制上述激光介質(zhì)供排部使得上述壓力成為第一目標值，

如果通過上述暫時停止指令部指示暫時停止，則上述控制部控制上述諧振器部來停止激光的生成動作，控制上述鼓風機而使該鼓風機的轉(zhuǎn)速減速至小于上述第一轉(zhuǎn)速的第二轉(zhuǎn)速，控制上述激光介質(zhì)供排部，使得上述壓力成為比上述鼓風機的轉(zhuǎn)速成為上述第二轉(zhuǎn)速的時刻的上述壓力更低的第二目標值，

當將上述第一目標值設為P₁、將上述第二目標值設為P₂、將上述鼓風機的轉(zhuǎn)速成為上述第二轉(zhuǎn)速的時刻的上述壓力設為P_n、將在上述控制部使停止了的上述諧振器部的動作重新開始時的上述壓力的上升幅度設為ΔP_a時，

使用P₂＝P_n-P_n×ΔP_a/P₁的式子求出上述第二目標值P₂。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的激光振蕩器，其特征在于，

上述第二轉(zhuǎn)速為零。