[發明專利]一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法有效

申請號：	201610083101.9	申請日：	2016-02-03
公開（公告）號：	CN105741337B	公開（公告）日：	2019-02-05
發明（設計）人：	沈顯勇	申請（專利權）人：	合肥亞歌半導體科技合伙企業（有限合伙）
主分類號：	G06T11/40	分類號：	G06T11/40;G03F7/20
代理公司：	合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115	代理人：	張祥騫;奚華保
地址：	230088 安***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種用于光刻矢量數據柵格三角形填充方法
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【說明書】：

本發明涉及一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法，與現有技術相比解決了三角形填充速度慢的缺陷。本發明包括以下步驟：三角形預處理，對三角形進行線段拆分分組；計算相同Y值下的X點的坐標值，針對線段集合Z中的線段分組進行并行處理，均計算出相同Y值下X點的坐標值；數據填充，對線段集合Z中的線段分組進行并行填充處理。本發明通過FPGA技術實現三角形的填充，提高了填充速度，從而提高直寫光刻機的產能。

技術領域

本發明涉及FPGA數據處理技術領域，具體來說是一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法。

背景技術

直寫式光刻機設備是半導體器件生產過程中的關鍵設施，直寫式光刻機設備是利用圖形發生器取代傳統光刻機的掩模板，從而可以直接將計算機的圖形數據曝光到晶圓上，節省掩模板的費用。半導體器件設計的圖形數據為矢量數據，包括GDS、Gerber、ODB++等格式數據，而直寫式光刻設備需要的數據為bitmap數據，因此，需要將矢量數量柵格化處理，變成bitmap數據。柵格化數據處理過程中，三角形的填充為必經程序，也是進行不規則多邊形填充的基礎步驟。(不規則多邊形填充通常是切分成多個三角形，再并行或分別進行三角形的填充)而柵格化數據的處理速度直接影響光刻機的產能，為了提高光刻機的產能，則需要提高柵格化的速度。

傳統的柵格化中三角形的填充方式為：1、使用brebension畫邊算法將三角形的三個邊畫出來，并存儲在存儲器中；2、將三個邊的數據讀取計算最大值、最小值；3、根據計算結果進行填充。但這個過程繁瑣，而且占用的FPGA資源過多，導致無法實現多路并行填充，影響光刻機的產能。如何開發出一種新的三角形填充方法已經成為急需解決的技術問題。

發明內容

本發明的目的是為了解決現有技術中三角形填充速度慢的缺陷，提供一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法來解決上述問題。

為了實現上述目的，本發明的技術方案如下：

一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法，包括以下步驟：

三角形預處理，對三角形進行線段拆分分組，所述的線段拆分分組位于第一象限內；

計算相同Y值下的X點的坐標值，針對線段集合Z中的線段分組進行并行處理，均計算出相同Y值下X點的坐標值；

數據填充，對線段集合Z中的線段分組進行并行填充處理。

所述的三角形預處理方法以下：

在直角坐標系中對三角形進行以Y值為基準橫向劃線，判斷三角形的三條邊兩兩之間是否存在Y值相同的坐標點；若存在，將存在坐標點Y值相同的兩邊條進行分組，形成線段分組，所有的線段分組組成線段集合Z。

所述的計算相同Y值下X點的坐標值包括以下步驟：

針對線段集合Z中的線段分組，均計算出Y值相同的X軸坐標點x_a和x_b；

計算當前線段Y值對應X軸坐標點x_a的值，其計算公式如下：