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[發明專利]一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法有效

專利信息
申請號: 201610083101.9 申請日: 2016-02-03
公開(公告)號: CN105741337B 公開(公告)日: 2019-02-05
發明(設計)人: 沈顯勇 申請(專利權)人: 合肥亞歌半導體科技合伙企業(有限合伙)
主分類號: G06T11/40 分類號: G06T11/40;G03F7/20
代理公司: 合肥天明專利事務所(普通合伙) 34115 代理人: 張祥騫;奚華保
地址: 230088 安*** 國省代碼: 安徽;34
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 用于 光刻 矢量 數據 柵格 三角形 填充 方法
【權利要求書】:

1.一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法,其特征在于,包括以下步驟:

11)三角形預處理,對三角形進行線段拆分分組,所述的線段拆分分組位于第一象限內;

12)計算相同Y值下的點的X軸坐標值,針對線段集合Z中的線段分組進行并行處理,均計算出相同Y值下的點的X軸坐標值;

所述的計算相同Y下的點的X軸坐標值包括以下步驟:

121)針對線段集合Z中的線段分組,均計算出Y值相同的點的X軸坐標值xa和xb

122)計算當前線段Y值對應X軸坐標xa的值;

123)計算當前線段Y值對應X軸坐標xb的值;

13)數據填充,對線段集合Z中的線段分組進行并行填充處理;

所述的數據填充包括以下步驟:

131)設定查找表H和查找表G;

132)對線段分組中的兩條線段,以Y值為基準,將Y值相同的兩個交點xa和xb之間進行填充;其填充方法如下:

1321)比較xa和xb的大小,若xa>xb,則將xa值賦給xlarge,將xb值賦給xsmall

若xa<xb,則將xb值賦給xlarge,將xa值賦給xsmall

1322)以xlarge的值建立查找表H,以xsmall的值建立查找表G;

1323)在查找表H中,將xlarge左邊設置xlarge個1,xlarge右邊設置個0,其中為畫面總寬度;

1324)在查找表G中,將xsmall左邊設置xsmall個0,xsmall右邊設置個1,其中為畫面總寬度;

1325)將查找表H和查找表G進行與運算操作,則xlarge與xsmall之間均填充完畢。

2.根據權利要求1所述的一種用于光刻機矢量數據柵格化的三角形填充方法,其特征在于,所述的三角形預處理方法以下:

在直角坐標系中對三角形進行以Y值為基準橫向劃線,判斷三角形的三條邊兩兩之間是否存在Y值相同的坐標點;若存在,將存在坐標點Y值相同的兩條邊進行分組,形成線段分組,所有的線段分組組成線段集合Z。

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