[發明專利]取下貼合裝置及應用此裝置的取下方法與貼合方法

有效

• 申請號: 201610081463.4
• 申請日: 2016-02-05
• 公開（公告）號: CN106739424B
• 公開（公告）日: 2020-02-14
• 發明（設計）人: 蔡鎮竹;王正苡;陳世昌;林子鈞
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: B32B38/10
• 分類號: B32B38/10;B32B37/10
• 代理公司: 11105 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陳小雯

1.一種取下貼合裝置，適于將一第一基板自一第二基板取下，或將該第一基板貼合至該第二基板，該取下貼合裝置包含有：

載臺，具有一承載面、多個吸氣口與一第一進出氣口，該承載面用于承載該第一基板，該多個吸氣口與該第一進出氣口均形成于該載臺的該承載面上，該多個吸氣口位于該第一基板投影于該載臺的投影區內，且該多個吸氣口用于吸附承載于該承載面的該第一基板；

可撓性固定件，用于固定該第二基板；以及

支撐元件，連接該載臺及該可撓性固定件，且該載臺及該可撓性固定件間隔一距離，其中，該支撐元件包含多個側墻部及一上蓋部，該多個側墻部介于該上蓋部與該載臺之間，該可撓性固定件固定于該多個側墻部內部，且該可撓性固定件與該多個側墻部及該上蓋部的接合面保持一距離，其中該載臺的該第一進出氣口直接連通于該載臺、該可撓性固定件與該支撐元件的該多個側墻部之間共同形成的一第一可變壓腔室。

2.如權利要求1所述的取下貼合裝置，還包含至少一預剝離元件，用以于該第一基板與該第二基板之間產生一預裂口。

3.如權利要求2所述的取下貼合裝置，其中該至少一預剝離元件為一高壓噴嘴。

4.如權利要求2所述的取下貼合裝置，其中該至少一預剝離元件包含有吸盤及連動桿，該連動桿連接于該支撐元件，而該吸盤可活動地設置于該連動桿上。

5.如權利要求2所述的取下貼合裝置，其中該至少一預剝離元件包含有驅動件與楔型鏟頭，該楔型鏟頭可活動地設置于該驅動件。

6.如權利要求1所述的取下貼合裝置，其中該支撐元件的該上蓋部具有至少一第二進出氣口，令該上蓋部與該可撓性固定件之間形成一第二可變壓腔室。

7.如權利要求1所述的取下貼合裝置，還包括限位件及軌道件，該軌道件固定于該上蓋部，該限位件可滑動地位于該軌道件上，以限制該第二基板的撓曲曲率。

8.如權利要求1所述的取下貼合裝置，還包括位移監控模塊，用以監控該可撓性固定件與該上蓋部之間的距離變化。

9.如權利要求1所述的取下貼合裝置，還包含多個吸附件，固定于該支撐元件的該上蓋部，且介于該上蓋部與該可撓性固定件之間，該支撐元件的該上蓋部具有多個第二進出氣口，對應于該多個吸附件，并以氣壓改變該多個吸附件的長度。

10.如權利要求1所述的取下貼合裝置，還包括至少一高度調整機構，連接于該支撐元件與該載臺之間，以調整該載臺與該可撓性固定件之間的該距離。

11.如權利要求1所述的取下貼合裝置，該可撓性固定件介于該上蓋部與該載臺之間，且該可撓性固定件的一側面貼附于該上蓋部，而相對的另一側面用以固定該第二基板。

12.如權利要求11所述的取下貼合裝置，其中該可撓性固定件具有多個可變壓隔間，該上蓋部具有多個第二進出氣口，分別對應于該多個可變壓隔間。

13.如權利要求1所述的取下貼合裝置，還包括由多個硬件與多個軟件交錯相連的一撓曲限位組件，固定于該可撓性固定件上，用以限制該可撓性固定件于一撓曲軸向撓曲變形。

14.如權利要求1所述的取下貼合裝置，還包括多個軸件與多個連接件交錯相連的一撓曲限位組件，固定于該可撓性固定件上，該多個軸件可樞轉的連接于該多個連接件，用以限制該可撓性固定件于一撓曲軸向撓曲變形。