[發明專利]一種鍍膜玻璃及其制備工藝

在審

• 申請號: 201610076289.4
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN105621897A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發明（設計）人: 黃紅伍;曾茂波;廖繼勇;逯正旺
• 申請（專利權）人: 凱茂科技（深圳）有限公司
• 主分類號: C03C17/245
• 分類號: C03C17/245
• 代理公司: 深圳市智享知識產權代理有限公司 44361
• 代理人: 王琴

1.一種玻璃鍍膜制備工藝，其特征在于：包 括步驟a：預處理玻璃基底；步驟b：預反應配置 一混合膜料；步驟c：離子清洗該玻璃基底；步驟 d：將混合膜料鍍制于該玻璃基底上，該混合膜料 為Al₂O₃和ZrO₂的混合。

2.如權利要求1所述的一種玻璃鍍膜制備工 藝，其特征在于：所述混合膜料中Al₂O₃的質量比為 25％、30％、35％、40％、45％中的任意一種。

3.如權利要求1所述的一種玻璃鍍膜制備工 藝，其特征在于：所述步驟b進一步包括配置Al₂O₃和ZrO₂的混合膜料，并放置于電子束真空鍍膜機的石墨坩 堝中。

4.如權利要求1所述的一種玻璃鍍膜制備工 藝，其特征在于：所述步驟c中進一步包括在離子 源中通入Ar∶O₂為1∶10的混合氣體，然后往玻璃基 底所在空間中充入氧氣，保持壓強在3.0×10^-4Torr 左右，然后開啟離子源對玻璃基底進行2分鐘清 洗。

5.如權利要求1所述的一種玻璃鍍膜制備工 藝，其特征在于：所述步驟d中進一步包括根據玻 璃需要鍍制膜的要求，設定好電子束真空鍍膜機 鍍膜程序，并設置鍍膜厚度，烘烤玻璃，開啟電 子槍，利用高能電子束轟擊Al₂O₃和ZrO₂混合膜 料，使混合膜料受熱達到熔點，從固態變為蒸氣， 在真空環境中均勻在玻璃基底上沉積，生長成混 合膜，鍍膜完成后冷卻一段時間，取出鍍膜玻璃 產品。

6.如權利要求1所述的一種玻璃鍍膜制備工 藝，其特征在于：所述步驟a中玻璃基底上設置一 功能層，該功能層為多層膜相互交疊或混合在一 起形成的單層固溶膜層。

7.一種鍍膜玻璃，包括一玻璃基底，其上設 置一功能層，并于功能層上鍍制一混合膜，其特 征在于：所述混合膜由Al₂O₃和ZrO₂混合而成。

8.如權利要求7所述的一種鍍膜玻璃，其特征 在于：所述混合膜層中Al₂O₃質量比為25％、30％、 35％、40％、45％之任意一種，膜層厚度為10～30nm。

9.如權利要求7所述的一種鍍膜玻璃，其特征 在于：混合膜中Al₂O₃質量比為40％，混合膜厚度為 25nm。