[發(fā)明專利]一種鍍膜玻璃及其制備工藝

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• 申請?zhí)枺?/td>: 201610076289.4
• 申請日: 2016-02-02
• 公開（公告）號: CN105621897A
• 公開（公告）日: 2016-06-01
• 發(fā)明（設計）人: 黃紅伍;曾茂波;廖繼勇;逯正旺
• 申請（專利權）人: 凱茂科技（深圳）有限公司
• 主分類號: C03C17/245
• 分類號: C03C17/245
• 代理公司: 深圳市智享知識產權代理有限公司 44361
• 代理人: 王琴

【技術領域】

本發(fā)明涉及無機材料領域，尤其涉及一種鍍膜玻璃 及其制備工藝。

【背景技術】

隨著電子產品的發(fā)展，人們對產品的質量要求也越來 越高。其中，為了保證玻璃基板各方面性能更優(yōu)越，會在 玻璃表面鍍制一層或者多層薄膜能夠賦予玻璃更多的特 殊屬性，如增透、濾光、防污、力學性能等等，使玻璃得 到了更為廣泛的應用。目前普遍使用的鍍膜玻璃是在玻璃 基底上鍍制功能層，配合鍍制一層Al₂O₃膜(由于功能層 韌性較差，與韌性好的Al₂O₃膜相互交疊使用或者混合一 起固溶的新型膜層，改善玻璃韌性)。可是單成分的Al₂O₃膜其脆性較大、抗沖擊強度弱，不能滿足人們日益增長的 物質需求。

【發(fā)明內容】

為克服現有單成分Al₂O₃膜性能局限性，提高玻璃的 力學性能、抗沖擊強度，本發(fā)明提供一種鍍膜玻璃及其制 備工藝。

本發(fā)明解決技術問題的技術方案是提供一種鍍膜玻璃及其制備 工藝。所述玻璃鍍膜制備工藝包括步驟a：預處理玻璃基底； 步驟b：預反應配置一混合膜料；步驟c：離子清洗該玻璃 基底；步驟d：將混合膜料鍍制于該玻璃基底上，所述混 合膜料為Al₂O₃和ZrO₂的混合。

優(yōu)選地，所述混合膜料中Al₂O₃的質量比為25％、30％、 35％、40％、45％中的任意一種。

優(yōu)選地，所述步驟b進一步包括配置Al₂O₃和ZrO₂的混 合膜料，并放置于電子束真空鍍膜機的石墨坩堝中。

優(yōu)選地，所述步驟c中進一步包括在離子源中通入 Ar∶O₂為1∶10的混合氣體，然后往玻璃基底所在空間中充 入氧氣，保持壓強在3.0×10^-4Torr左右，然后開啟離子源 對玻璃基底進行2分鐘清洗。

優(yōu)選地，所述步驟d中進一步包括根據玻璃需要鍍制 膜的要求，設定好電子束真空鍍膜機鍍膜程序，并設置鍍 膜厚度，烘烤玻璃，開啟電子槍，利用高能電子束轟擊 Al₂O₃和ZrO₂混合膜料，使混合膜料受熱達到熔點，從固 態(tài)變?yōu)檎魵猓谡婵窄h(huán)境中均勻在玻璃基底上沉積，生長 成混合膜，鍍膜完成后冷卻一段時間，取出鍍膜玻璃產品。

優(yōu)選地，所述步驟a中玻璃基底上設置一功能層，該 功能層為多層膜相互交疊或混合在一起形成的單層固溶 膜層。

優(yōu)選地，鍍膜玻璃包括一玻璃基底，其上設置一功能 層，并于功能層上鍍制一混合膜，其特征在于：所述混合 膜由Al₂O₃和ZrO₂混合而成。

優(yōu)選地，所述混合膜層中Al₂O₃質量比為25％、30％、 35％、40％、45％之任意一種，膜層厚度為10～30nm。

優(yōu)選地，所述混合膜中Al₂O₃質量比為40％，混合膜 厚廈為25nm。

與現有技術相比，本發(fā)明一種鍍膜玻璃中混合膜層添 加ZrO₂，配合ZrO₂形成一種固溶的新型膜層，彌補了單成 分Al₂O₃膜層一些性能上的局限性，且韌性好，抗沖擊強 度高。

【附圖說明】

圖1是本發(fā)明第一實施方式玻璃表面混合膜制備工藝 流程。

圖2是圖1所示制備工藝生產的具有混合膜層的玻璃 的截面示意圖。

圖3是圖2所示玻璃落球沖擊測試結果圖。

【具體實施方式】

為了使本發(fā)明的目的，技術方案及優(yōu)點更加清楚明 白，以下結合附圖及實施實例，對本發(fā)明進行進一步詳細 說明。應當理解，此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋 本發(fā)明，并不用于限定本發(fā)明。