[發(fā)明專利]芯片封裝方法及芯片封裝結(jié)構(gòu)在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 201610067264.8 | 申請日: | 2016-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN106601630A | 公開(公告)日: | 2017-04-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 蘇威碩 | 申請(專利權(quán))人: | 碁鼎科技秦皇島有限公司;臻鼎科技股份有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/50 | 分類號: | H01L21/50;H01L21/56;H01L21/60;H01L23/48;H01L23/31 |
| 代理公司: | 深圳市賽恩倍吉知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司44334 | 代理人: | 薛曉偉 |
| 地址: | 066004 河北省*** | 國省代碼: | 河北;13 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 芯片 封裝 方法 結(jié)構(gòu) | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種芯片封裝技術(shù),特別涉及一種芯片封裝方法及采用該方法得到的芯片封裝結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù)
封裝是指安裝半導(dǎo)體集成電路芯片用的外殼,它不僅擔(dān)任放置、固定、密封、保護(hù)芯片和增強(qiáng)導(dǎo)熱性能的作用,而且還是溝通芯片內(nèi)部世界與外部電路的橋梁。芯片上的接點(diǎn)用導(dǎo)線連接到封裝外殼的導(dǎo)線,這些導(dǎo)線又透過印刷電路板上的導(dǎo)線與其它零件建立連接。因此,對于很多集成電路產(chǎn)品而言,封裝技術(shù)都是非常關(guān)鍵的一環(huán)。
而現(xiàn)有技術(shù)中的封裝結(jié)構(gòu)是采用先實(shí)現(xiàn)封膠體內(nèi)的芯片與金屬柱的電性導(dǎo)通,再進(jìn)行封裝的方法進(jìn)行芯片封裝的。采用此方法得到的芯片封裝結(jié)構(gòu)的芯片良率不高、制作工藝復(fù)雜,進(jìn)而使得制作成本較高。另外,封膠體硬化后翹曲,影響封裝結(jié)構(gòu)的平衡。
發(fā)明內(nèi)容
有鑒于此,本發(fā)明提供一種能夠解決上述問題的芯片封裝方法及芯片封裝結(jié)構(gòu)。
一種芯片封裝方法,其包括步驟:第一步,提供一承載基板;第二步,在該承載基板上形成多個(gè)金屬柱及安裝至少一個(gè)芯片,多個(gè)該金屬柱分布在該至少一個(gè)芯片的周圍;第三步,形成一封膠體,該封膠體包覆多個(gè)該金屬柱及該至少一個(gè)芯片;第四步,去除該承載基板,形成一封裝基板;及第五步,在該封膠體的一側(cè)形成一線路重置層及一包覆該線路重置層的絕緣層;該線路重置層與至少部分該金屬柱及該芯片電連接,該芯片的一表面與該絕緣層共平面。
一種芯片封裝結(jié)構(gòu),該芯片封裝結(jié)構(gòu)包括多個(gè)金屬柱、至少一芯片、一封膠體、一線路重置層及一包覆該線路重置層的絕緣層,該封膠體包覆該金屬柱及該芯片,多個(gè)該金屬柱均勻地分布在該芯片的周圍,該線 路重置層形成于該封膠體的一側(cè),該線路重置層與至少部分該金屬柱及該芯片電性連接,該芯片的一表面與該絕緣層共平面。
本發(fā)明提供的芯片封裝方法及芯片封裝結(jié)構(gòu),1)先將芯片封裝在封膠體內(nèi),再在封膠體的外側(cè)形成線路重置層,避免了封膠體制程對線路重置層的損壞和影響,既提高了芯片封裝的良率,又降低了成本;2)將多個(gè)金屬柱分布在芯片的周圍,既可以作為線路重置層與外部電子元件的電性連接通道,又可以支撐平衡封膠體,防止硬化后的封膠體的翹曲;3)將線路重置層形成在封膠體的裸露出芯片的導(dǎo)電凸塊的表面上,用封膠體代替了現(xiàn)有技術(shù)中的基板,簡化了制程,降低了成本。
附圖說明
圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例提供的一承載基板的剖視圖。
圖2是在圖1所示的承載基板的表面上形成金屬柱后的剖視圖。
圖3是將一芯片焊接到圖2所示的承載基板上,形成封裝基板中間體的剖視圖。
圖4是將圖3所示的金屬柱及芯片封裝在封膠體內(nèi)的剖視圖。
圖5是將圖4形成的封膠體的表面進(jìn)行拋光后的剖視圖。
圖6是將圖5所示的承載基板去除,形成封裝基板后的剖視圖。
圖7是在圖6所示的封裝基板的一個(gè)表面上形成一線路重置層后的剖視圖。
圖8在圖7所示的線路重置層及封膠體的表面進(jìn)行表面封裝,形成芯片封裝結(jié)構(gòu)后的剖視圖。
圖9是在圖4所示的封膠體的對應(yīng)與金屬柱的位置形成一一對應(yīng)的導(dǎo)電盲孔后的剖視圖。
圖10將圖9所示的承載基板去除,形成一第二封裝基板后的剖視圖。
圖11是在圖10所示的第二封裝基板的一個(gè)表面上形成一線路重置層后的剖視圖。
圖12是在圖11所示的線路重置層及第二封膠體的表面進(jìn)行表面封裝,形成封裝結(jié)構(gòu)后的剖視圖。
主要元件符號說明
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息,商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于碁鼎科技秦皇島有限公司;臻鼎科技股份有限公司,未經(jīng)碁鼎科技秦皇島有限公司;臻鼎科技股份有限公司許可,擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作,請聯(lián)系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201610067264.8/2.html,轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造
- 一種數(shù)據(jù)庫讀寫分離的方法和裝置
- 一種手機(jī)動(dòng)漫人物及背景創(chuàng)作方法
- 一種通訊綜合測試終端的測試方法
- 一種服裝用人體測量基準(zhǔn)點(diǎn)的獲取方法
- 系統(tǒng)升級方法及裝置
- 用于虛擬和接口方法調(diào)用的裝置和方法
- 線程狀態(tài)監(jiān)控方法、裝置、計(jì)算機(jī)設(shè)備和存儲(chǔ)介質(zhì)
- 一種JAVA智能卡及其虛擬機(jī)組件優(yōu)化方法
- 檢測程序中方法耗時(shí)的方法、裝置及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 函數(shù)的執(zhí)行方法、裝置、設(shè)備及存儲(chǔ)介質(zhì)
- 卡片結(jié)構(gòu)、插座結(jié)構(gòu)及其組合結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)平臺(tái)結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)支撐結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)支撐結(jié)構(gòu)
- 單元結(jié)構(gòu)、結(jié)構(gòu)部件和夾層結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)扶梯結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)隔墻結(jié)構(gòu)
- 鋼結(jié)構(gòu)連接結(jié)構(gòu)
- 螺紋結(jié)構(gòu)、螺孔結(jié)構(gòu)、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)結(jié)構(gòu)
- 螺紋結(jié)構(gòu)、螺孔結(jié)構(gòu)、機(jī)械結(jié)構(gòu)和光學(xué)結(jié)構(gòu)





