[發明專利]一種發光二極管芯片及其制作方法有效
| 申請號： | 201610037831.5 | 申請日： | 2016-01-20 |
| 公開（公告）號： | CN105529386B | 公開（公告）日： | 2018-05-22 |
| 發明（設計）人： | 劉源;王江波 | 申請（專利權）人： | 華燦光電股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L33/46 | 分類號： | H01L33/46;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京三高永信知識產權代理有限責任公司 11138 | 代理人： | 徐立 |
| 地址： | 430223 湖北省*** | 國省代碼： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 發光二極管 芯片 及其 制作方法 | ||
1.一種發光二極管芯片的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：
在藍寶石襯底的第一表面形成外延層，并在所述外延層上設置電極，得到待切割芯片；
將第一膠膜覆蓋在所述待切割芯片的第一表面上，第二膠膜覆蓋在所述待切割芯片的第二表面上，所述待切割芯片的第一表面為形成有所述外延層的表面，所述待切割芯片的第二表面為與所述待切割芯片的第一表面相反的表面；
透過所述第二膠膜對所述待切割芯片進行切割和分裂，得到若干相互獨立的發光二極管LED芯片；
去除所述第二膠膜；
對所述第一膠膜進行擴張，增大所述LED芯片相互之間的距離；
將所述LED芯片從所述第一膠膜上倒模到第三膠膜上，所述第三膠膜的耐溫性優于所述第一膠膜；
在所述藍寶石襯底的第二表面和所述藍寶石襯底的側面形成反光層，所述藍寶石襯底的第二表面為與所述藍寶石襯底的第一表面相反的表面，所述藍寶石襯底的側面為所述藍寶石襯底的表面中除所述藍寶石襯底的第一表面和所述藍寶石襯底的第二表面之外的表面；
其中，所述第一膠膜包括聚氯乙烯PVC基材和亞克力系粘著劑，所述第二膠膜包括聚對苯二甲酸乙二酯PET基材和亞克力系粘著劑，所述第三膠膜包括聚酰亞胺PI基材和丙烯酸系水基粘著劑。
2.根據權利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述LED芯片相互之間的距離為所述LED芯片的尺寸的1.3～3倍。
3.根據權利要求1或2所述的制作方法，其特征在于，所述反光層包括Ag反射層或Al反射層。
4.根據權利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述反光層的厚度為1000～3000埃。
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