[發明專利]一種儲存穩定的感光干膜及其制備方法有效
| 申請號： | 201610034685.0 | 申請日： | 2016-01-19 |
| 公開（公告）號： | CN105676593B | 公開（公告）日： | 2019-07-16 |
| 發明（設計）人： | 韓傳龍;李偉杰;嚴曉慧;李志強;黃森彪;周光大;林建華 | 申請（專利權）人： | 杭州福斯特應用材料股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 杭州求是專利事務所有限公司 33200 | 代理人： | 邱啟旺 |
| 地址： | 311300 浙*** | 國省代碼： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 儲存 穩定 感光 及其 制備 方法 | ||
1.一種儲存穩定的感光干膜，其特征在于，由感光干膜經加熱分切后得到，所述感光干膜依次由支撐膜層、干膜抗蝕劑層和保護膜層構成；其中，支撐膜層為雙面熱封型PET，具有三層結構，由兩層共聚酯PETG層和位于兩層共聚酯PETG層之間的PET樹脂層組成；所述保護膜層為聚乙烯薄膜層。
2.根據權利要求1所述的感光干膜，其特征在于，所述共聚酯PETG層由對苯二甲酸二甲酯(DMT)、乙二醇(EG)和新戊二醇(NPG)三種單體縮聚而成。
3.根據權利要求1所述的感光干膜，其特征在于，所述雙面熱封型PET透光率大于90％，霧度小于3％。
4.根據權利要求1所述的感光干膜，其特征在于，所述雙面熱封型PET在120-300℃進行熱封。
5.一種儲存穩定的感光干膜制備方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)干膜溶液配制：將50-70重量份的堿溶性樹脂、15-45重量份的單體、0.5-10重量份的光引發劑、0.5-9重量份的添加劑、30-70重量份的溶劑混合均勻，得到干膜溶液；
(2)涂布與烘干：將步驟(1)得到的干膜溶液均勻涂布在雙面熱封型PET表面，通過溫度為70℃的烘道將其烘干，形成干膜抗蝕劑層；
(3)貼合保護膜：在抗蝕劑層表面貼合聚乙烯薄膜，獲得三層結構的感光干膜；
(4)加熱分切干膜：將分切圓刀預先加熱到100-600℃，對步驟(3)獲得的感光干膜進行加熱分切，使得切口處快速熱封，形成寬度為0.1-2.0mm的熱封層，得到儲存穩定的感光干膜。
6.根據權利要求5所述的感光干膜制備方法，其特征在于，所述加熱分切的速度為60-120m/min。
7.根據權利要求5所述的感光干膜制備方法，其特征在于，所述分切圓刀厚度為0.1-2.0mm。
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