[發明專利]有機發光元件制造用集群型沉積裝置

在審

• 申請號: 201610012259.7
• 申請日: 2016-01-08
• 公開（公告）號: CN105789090A
• 公開（公告）日: 2016-07-20
• 發明（設計）人: 李在鎮;樸喜載
• 申請（專利權）人: 株式會社SNU精密
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L51/56;C23C14/12;C23C14/24
• 代理公司: 北京路浩知識產權代理有限公司 11002
• 代理人: 王瑩;瞿衛軍

1.一種有機發光元件制造用集群型沉積裝置，其特征在于，包括：

加載腔室，用于供應有機發光元件用基板；

多個集群，分別具備：具有基板移送用移送單元的搬送腔室；和配設在所述搬送腔室的 周圍的工藝腔室，所述工藝腔室從所述加載腔室接收基板并進行沉積，所述多個集群連接 于搬送及旋轉基板的緩沖腔室，

所述工藝腔室內部的兩側具備分別支撐基板的基板支撐架，所述工藝腔室內部的底面 上具備為了在所述基板上沉積有機物而往返移動于兩側基板支撐架的下部區域的沉積源，

所述移送單元包括：基板支架；前后移動用多關節連桿，其前端部連接于所述基板支 架；及轉動連桿，其一端部連接于所述搬運腔室的中央，另一端部連接于所述多關節連桿的 后端部，使得多關節連桿的前端部和后端部配設于從基板支撐架的正面中央與沉積源的移 動方向正交的基板移送線上。

2.根據權利要求1所述的有機發光元件制造用集群型沉積裝置，其特征在于，

所述多關節連桿的后端部對于轉動連桿的一端部的旋轉，向與轉動連桿的旋轉方向相 反的方向進行旋轉，多關節連桿的后端部的旋轉角度旋轉為與轉動連桿的旋轉角度相同的 角度。

3.根據權利要求2所述的有機發光元件制造用集群型沉積裝置，其特征在于，

沿著所述搬送腔室的周圍設置有多個所述工藝腔室，

并且進一步包括沿著所述搬送腔室的周圍配設的多個堆棧腔室。