[發(fā)明專利]一種石英舟在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201610007466.3 | 申請(qǐng)日: | 2016-01-07 |
| 公開(公告)號(hào): | CN105514005A | 公開(公告)日: | 2016-04-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 沈根法;宋偉宏 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 湖州奧博石英科技有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/673 | 分類號(hào): | H01L21/673;H01L21/68 |
| 代理公司: | 北京科億知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 湯東鳳 |
| 地址: | 313000 浙江省湖州*** | 國(guó)省代碼: | 浙江;33 |
| 權(quán)利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 石英 | ||
1.一種石英舟,包括兩個(gè)支座、上連接桿和下連接桿,兩個(gè)支座通過上連接桿和下連接桿連接成一個(gè)整體,上連接桿連接在支座的上半部,下連接桿連接在支座的下半部,上連接桿和下連接桿上均設(shè)置有多個(gè)卡槽,其特征在于:所述卡槽為矩形卡槽,矩形卡槽的上端內(nèi)側(cè)設(shè)置有過渡圓角。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英舟,其特征在于:所述支座上設(shè)置有上橫向滑槽和下橫向滑槽,上連接桿穿過上橫向滑槽,下連接桿穿過下橫向滑槽,上連接接桿和下連接桿上均套接有緊固螺母,緊固螺母能夠?qū)⑸线B接桿和下連接桿分別固定在上橫向滑槽內(nèi)和下橫向滑槽內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種石英舟,其特征在于:所述上連接桿至少有兩根,所述下連接桿至少有一根。
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- 專利分類
H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





