[發明專利]屏蔽環和基板載置臺

有效

• 申請號: 201610007290.1
• 申請日: 2016-01-06
• 公開（公告）號: CN105762052B
• 公開（公告）日: 2017-11-24
• 發明（設計）人: 田中誠治;并木未央
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;H01J37/20
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 龍淳,邸萬杰

1.一種屏蔽環，其具有絕緣性，配置在具有被施加高頻電力的金屬制的基材和設置于所述基材之上的基板載置部的基板載置臺上，且位于所述基材和所述基板載置部的周圍，其中，所述基板載置臺用于在對基板實施等離子體處理的腔室內載置基板，所述屏蔽環的特征在于：

將多個構成部件組合而成，各構成部件包括安裝于所述基材的下層部和以覆蓋所述下層部之上的方式設置的上層部，所述上層部被設置成能夠反轉。

2.如權利要求1所述的屏蔽環，其特征在于：

所述屏蔽環由絕緣性陶瓷構成。

3.如權利要求1或2所述的屏蔽環，其特征在于：

所述上層部和所述下層部由相同的材料構成。

4.如權利要求1或2所述的屏蔽環，其特征在于：

所述上層部和所述下層部由不同的材料構成。

5.如權利要求1所述的屏蔽環，其特征在于：

所述上層部被設置成能夠正反面反轉、或面內反轉、或正反面反轉和面內反轉。

6.如權利要求1所述的屏蔽環，其特征在于：

所述構成部件的所述下層部被螺釘緊固于所述基材，所述上層部被設置成覆蓋所述被螺釘緊固的部分。

7.如權利要求1所述的屏蔽環，其特征在于：

所述構成部件的所述下層部具有對所述上層部進行定位的定位銷，所述上層部具有用于插入所述定位銷的定位用孔，且所述上層部在進行了規定的反轉時，在用于插入所述定位銷的位置形成有另外的定位用孔。

8.如權利要求1所述的屏蔽環，其特征在于：

所述基板形成矩形形狀，所述屏蔽環形成框狀。

9.如權利要求8所述的屏蔽環，其特征在于：

所述構成部件是構成框狀的長邊的長邊部件和構成短邊的短邊部件。

10.如權利要求8所述的屏蔽環，其特征在于：

所述構成部件是將構成框狀的長邊的長邊部件和構成短邊的短邊部件進一步分割成多個而成的部件。

11.如權利要求9或10所述的屏蔽環，其特征在于：

所述長邊部件和所述短邊部件的下層部件，采用如下結構：具有被約束的一端和作為自由端的另一端，容許另一端側因熱而以所述一端為基準進行熱膨脹。

12.如權利要求11所述的屏蔽環，其特征在于：

所述長邊部件和所述短邊部件的下層部具有用于對上層部進行定位的定位銷和以跟蹤熱變形的方式設置的熱變形隨動銷，所述長邊部件和所述短邊部件的上層部具有用于插入所述定位銷的定位銷用孔和用于插入所述熱變形隨動銷的長孔形狀的熱變形隨動用孔，且所述上層部在進行了規定的反轉時，在用于插入所述定位銷和所述熱變形隨動銷的位置形成有另外的定位用孔和另外的熱變形隨動用孔。

13.一種基板載置臺，其用于在對基板實施等離子體處理的腔室內載置基板，所述基板載置臺的特征在于，包括：

被施加高頻電力的金屬制的基材；

設置于所述基材之上的基板載置部；和

配置于所述基材和所述基板載置部的周圍的絕緣性的屏蔽環，

所述屏蔽環具有權利要求1～12中任一項的結構。