[發明專利]一種蒸鍍系統

有效

• 申請號: 201610006738.8
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105543784B
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 胡長奇;郭書鵬;鄒清華;卜斌
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274
• 代理人: 申健

技術領域

本發明涉及蒸鍍技術領域，尤其涉及一種蒸鍍系統。

背景技術

真空蒸發鍍膜法(簡稱真空蒸鍍法)是在真空室中加熱蒸發容器中待形成薄膜的原材料，使其原子或分子從表面氣化逸出形成蒸汽流，入射到襯底基板表面凝結形成固態薄膜的方法。真空蒸鍍法已經廣泛應用于顯示器件的制作過程，例如OLED顯示面板的包括陰極、陽極以及位于陰極和陽極之間的發光材料層，其中陰極和陽極一般采用真空蒸鍍法形成。

具體的，如圖1所示，將蒸鍍基板11與掩膜板12對位放置，其中，蒸鍍基板11位于掩膜板12的上面，蒸發源14位于掩膜板12的下面。由于在真空蒸鍍過程中蒸鍍基板11與掩膜板12有可能發生相對移動，造成成膜區域偏移，導致形成的薄膜精度差。如圖1所示，現有技術中在蒸鍍基板11的上面放置有一塊蓋板13，為了防止襯底基板11移動，蓋板13與襯底基板11通過膠水等黏著在一起。如圖1所示，蓋板13上形成有多個通孔，在襯底基板11鍍膜完成后，移動桿15穿過該通孔頂出蒸鍍基板11，以使得蒸鍍基板11與蓋板13分離。但由于蓋板13上的通孔較小，移動桿15與蒸鍍基板11的接觸面較小為“點狀”，因此，現有技術稱之為“點狀”分離。“點狀”分離會使得蒸鍍基板11表面受力不均，從而出現基板點燈缺陷等問題。

發明內容

本發明的實施例提供一種蒸鍍系統，蒸鍍機構的蓋板形成一個面積較大的框架區域，分離機構的支撐板在框架區域內與蒸鍍基板具有較大的接觸面積，以將蒸鍍基板與蓋板分離，從而改善“點狀”分離出現的基板點燈缺陷等問題。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明實施例提供了一種蒸鍍系統，包括：蒸鍍機構以及分離機構，其中，

所述蒸鍍機構用于在蒸鍍基板的第一表面蒸鍍薄膜，包括蒸鍍源以及依次位于所述蒸鍍源蒸鍍方向側的蒸鍍基板和蓋板；所述蓋板包括：邊框，所述邊框形成一個包圍的框架區域，所述邊框和所述蒸鍍基板的接觸表面形成有黏著部，所述蒸鍍基板與所述蓋板黏著在一起；

所述分離機構用于在薄膜蒸鍍完成后將所述蒸鍍基板與所述蓋板分離，包括：至少一個支撐板和與所述支撐板連接的至少一個移動桿，所述支撐板包括相對的第三表面和第四表面，所述支撐板的第三表面與所述框架區域的蒸鍍基板的第二表面接觸，其中，所述第二表面與所述第一表面相對；

所述移動桿與所述支撐板的第四表面連接，用于帶動所述支撐板在所述框架區域上下方向移動，且所述第三表面的面積大于所述移動桿和所述支撐板的接觸面積。

可選的，所述蓋板還包括：位于所述框架區域的至少一個連接桿，所述連接桿與所述邊框連接、將所述框架區域劃分為至少兩個框架子區域；

所述分離機構包括與所述框架子區域一一對應的支撐板，所述支撐板的第三表面與對應的框架子區域的蒸鍍基板的第二表面接觸。

可選的，所述至少兩個框架子區域的面積相等。

可選的，所述支撐板的第三表面的面積大于所述框架子區域面積的二分之一。

可選的，所述蒸鍍基板用于形成顯示面板的母板，所述蒸鍍基板劃分有多個顯示面板單元，所述框架子區域與所述顯示面板單元一一對應。

可選的，所述蒸鍍系統還包括：冷卻器件；所述冷卻器件用于降低所述蒸鍍基板的溫度。

可選的，所述冷卻器件包括冷卻管，氣體和/或液體可在所述冷卻管內流動，所述冷卻管設置在所述支撐板未與所述蒸鍍基板接觸的表面上。

可選的，所述冷卻管設置在所述支撐板的第四表面上。

可選的，所述冷卻管在所述支撐板的表面上彎折排布。

可選的，所述支撐板為金屬板。

本發明的實施例提供一種蒸鍍系統，在蒸鍍機構中蓋板和蒸鍍基板黏著在一起，蒸鍍完成后需要將蓋板和蒸鍍基板分離，本發明實施例中的蓋板形成為一個包圍的框架區域，分離機構的支撐板與框架區域的蒸鍍基板接觸使得蒸鍍基板向框架區域的上方移動從而與蓋板分離。由于支撐板與蒸鍍基板的接觸面積大于支撐板與移動桿的接觸面積，即相對于現有技術蒸鍍基板與移動桿的點接觸，本發明實施例中支撐板與蒸鍍基板的接觸方式為面接觸，從而改善蒸鍍基板因受力不均導致的點燈缺陷等問題。

附圖說明

為了更清楚地說明本發明實施例或現有技術中的技術方案，下面將對實施例或現有技術描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發明的一些實施例，對于本領域普通技術人員來講，在不付出創造性勞動的前提下，還可以根據這些附圖獲得其他的附圖。