[發明專利]一種蒸鍍系統

有效

• 申請號: 201610006738.8
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN105543784B
• 公開（公告）日: 2017-12-05
• 發明（設計）人: 胡長奇;郭書鵬;鄒清華;卜斌
• 申請（專利權）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/56
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司11274
• 代理人: 申健

1.一種蒸鍍系統，包括：蒸鍍機構以及分離機構，其中，所述蒸鍍機構用于在蒸鍍基板的第一表面蒸鍍薄膜，包括蒸鍍源以及位于所述蒸鍍源蒸鍍方向側的蒸鍍基板，其特征在于，所述蒸鍍機構還包括位于所述蒸鍍源蒸鍍方向側的蓋板，所述蒸鍍基板和所述蓋板依次位于所述蒸鍍源蒸鍍方向側；所述蓋板包括：邊框，所述邊框形成一個包圍的框架區域，所述邊框和所述蒸鍍基板的接觸表面形成有黏著部，所述蒸鍍基板與所述蓋板黏著在一起；

所述分離機構用于在薄膜蒸鍍完成后將所述蒸鍍基板與所述蓋板分離，包括：至少一個支撐板和與所述支撐板連接的至少一個移動桿，所述支撐板包括相對的第三表面和第四表面，所述支撐板的第三表面與所述框架區域的蒸鍍基板的第二表面接觸，其中，所述第二表面與所述第一表面相對；

所述移動桿與所述支撐板的第四表面連接，用于帶動所述支撐板在所述框架區域上下方向移動，且所述第三表面的面積大于所述移動桿和所述支撐板的接觸面積。

2.根據權利要求1所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述蓋板還包括：位于所述框架區域的至少一個連接桿，所述連接桿與所述邊框連接、將所述框架區域劃分為至少兩個框架子區域；

所述分離機構包括與所述框架子區域一一對應的支撐板，所述支撐板的第三表面與對應的框架子區域的蒸鍍基板的第二表面接觸。

3.根據權利要求2所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述至少兩個框架子區域的面積相等。

4.根據權利要求2所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述支撐板的第三表面的面積大于所述框架子區域面積的二分之一。

5.根據權利要求2或3所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述蒸鍍基板用于形成顯示面板的母板，所述蒸鍍基板劃分有多個顯示面板單元，所述框架子區域與所述顯示面板單元一一對應。

6.根據權利要求1所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述蒸鍍系統還包括：冷卻器件；所述冷卻器件用于降低所述蒸鍍基板的溫度。

7.根據權利要求6所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述冷卻器件包括冷卻管，氣體和/或液體可在所述冷卻管內流動，所述冷卻管設置在所述支撐板未與所述蒸鍍基板接觸的表面上。

8.根據權利要求7所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述冷卻管設置在所述支撐板的第四表面上。

9.根據權利要求7或8所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述冷卻管在所述支撐板的表面上彎折排布。

10.根據權利要求1所述的蒸鍍系統，其特征在于，所述支撐板為金屬板。