[發明專利]止逆閥及防止氣體回沖的系統

有效

• 申請號: 201610005834.0
• 申請日: 2016-01-05
• 公開（公告）號: CN106763924B
• 公開（公告）日: 2018-09-28
• 發明（設計）人: 彭堯政;陳俊正;陳博洋
• 申請（專利權）人: 力晶科技股份有限公司
• 主分類號: F16K15/03
• 分類號: F16K15/03;F16K51/02;C23C14/56;C23C16/44
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 陳小雯

1.一種止逆閥，包括：

閥體，具有多個開口；

多個旋啟式柵門，設置于該閥體上，其中在該些旋啟式柵門關閉時，該些旋啟式柵門封住該些開口；

多個擋塊，設置于該閥體上，其中在該些旋啟式柵門開啟時，該些擋塊擋住該些旋啟式柵門，以限制該些旋啟式柵門的一開啟角度，以及

多個頂針結構，其中各該頂針結構包括：

彈簧結構，包括：殼體以及彈簧，該彈簧位于該殼體中，該彈簧結構設置于該閥體上；以及

頂針，該頂針連接于該彈簧結構，其中在該些旋啟式柵門關閉時，該些頂針與該些旋啟式柵門相接觸。

2.如權利要求1所述的止逆閥，其中各該旋啟式柵門包括：

軸，設置于該閥體上：以及

柵門，連接于該軸。

3.如權利要求1所述的止逆閥，其中該開啟角度為30度至45度。

4.如權利要求1所述的止逆閥，還包括多個密封件，設置于該閥體上并環繞該些開口，且位于該閥體與該些旋啟式柵門之間。

5.如權利要求4所述的止逆閥，其中該些密封件包括O型環。

6.一種防止氣體回沖的系統，包括：

反應室；

真空系統；

管路系統，將該反應室與該真空系統進行連通；以及

如權利要求1至5中任一所述的止逆閥，設置于該管路系統中。

7.如權利要求6所述的防止氣體回沖的系統，其中該止逆閥中的該些旋啟式柵門位于該閥體鄰近于該真空系統的一側。

8.如權利要求6所述的防止氣體回沖的系統，其中該管路系統至少在設置有該止逆閥的部分垂直于地面。