[發明專利]薄膜光罩、貼合輔具、貼合與曝光輔助裝置

在審

• 申請號: 201610003321.6
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN106597805A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 許銘案;林文福
• 申請（專利權）人: 許銘案;林文福
• 主分類號: G03F1/62
• 分類號: G03F1/62;G03F1/64
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司11228
• 代理人: 張秋越

技術領域

本發明關于一種光罩，特別關于一種薄膜光罩、貼合輔具、貼合與曝光輔助裝置及將一薄膜光罩貼合于一曲面基板的方法。

背景技術

目前，智能型裝置如智能型手機、智能型手表、智能型醫療器材等，都搭配有大熒幕讓使用者觀看熒幕上的信息。這些具有大熒幕的裝置，除了功能強大外，逐漸都走向個性化、美觀的造型設計，包括外觀、形狀、色彩等。這些都必須通過令人激賞的外殼設計與制造來實現。而目前，曲面化的外殼造型，特別吸引人，也逐漸成為智能型裝置的未來潮流。

目前，對于智能型裝置的曲面化外殼的圖案制作，有以下幾種工法：第一種公法：轉印技術。通過預先制作的平面圖樣，再轉印到目標的曲面。此種工法的加工成本低，但加工速度慢、材料成本高，且線路分辨率差。第二種工法：噴墨+激光雕刻。通過噴墨方法將顏料噴至目標的曲面，再通過激光雕刻的方式將圖案刻出。此種工法加工成本高且加工速度慢，設備成本也很高，材料成本也高，優點是，線路分辨率高，可達20μm(微米)。

因此，如何能開發出同時具備加工成本低、加工速度快、材料成本低、線路分辨率高的多重優點，并且，可在曲面外殼、立體外殼上制作出彩色圖案之方法，成為智能型裝置廠商所希求的發展方向。其中一種技術為運用彩色光阻層的技術，也就是，將彩色光阻層涂布在曲面外殼上后，再運用光蝕刻的方式蝕刻出圖案。不過，此等曲面外殼如何能用光罩來實現蝕刻，成為此項工藝發展的發展重點。

發明內容

為了解決上述技術問題，本發明提供一種薄膜光罩、貼合輔具、貼合與曝光輔助裝置及將一薄膜光罩貼合于一曲面基板的方法，運用一貼合輔具將薄膜光罩貼合于曲面基板上，并讓薄膜光罩曲面化，而能讓曲面基板制作出曲面圖案。

本發明提供的薄膜光罩，用以貼合于一曲面基板，使該曲面基板可制作出一光阻層，該薄膜光罩包含：

一薄膜基材，由一撓性材料構成；及

一薄膜光罩層，形成于該薄膜基材上，該薄膜光罩層構成一圖案，該圖案可視，該薄膜光罩層貼合于該曲面基板的該光阻層處；

其中，該薄膜基材的厚度介于1-100微米之間，該薄膜光罩層介于10-3000納米之間。

較佳地，該撓性材料為PET。

所述，上述薄膜光罩，更包含：

多個定位孔，形成于該薄膜基材上，通過一貼合治具使該薄膜基材定位，以與該曲面基板進行準確對位。

本發明還提供一種用于上述薄膜光罩的貼合輔具，用以于該薄膜光罩貼合于該曲面基板時，輔助該薄膜光罩壓合于該曲面基板，并作為該薄膜光罩與一曝光機的界面，包含：

一軟性板材，由一高透光的彈性材料構成，可穿透300至500納米的光，可產生形變，并于該薄膜光罩貼合于該曲面基板時，受一外力而產生形變使該薄膜光罩緊密貼合于該曲面基板的該光阻層處，使該薄膜光罩曲面化。

較佳地，該高透光的彈性材料選自硅膠、硅油包覆軟性外層、硅有機材料和含氟有機材料。

較佳地，該軟性板材的底部制作為與該曲面基板相符的曲面。

本發明還提供一種貼合與曝光輔助裝置，可使一曲面基板形成具有一曲面圖案的一光阻層，包含：

一薄膜光罩，包含：

一薄膜基材，由一撓性材料構成，該薄膜基材上配置有多個定位孔，由一貼合治具，借由該些定位孔使該薄膜基材定位，以與該曲面基板進行準確對位；及

一薄膜光罩層，形成于該薄膜基材上，該薄膜光罩層構成一圖案，該圖案可視；及

其中，該薄膜基材的厚度介于1-100微米之間，該薄膜光罩層介于10-3000納米之間；

一軟性板材，由可產生形變的一高透光的彈性材料構成，可穿透300至500納米的光，并于該薄膜光罩貼合于該曲面基板的該光阻層時，受一外力而產生形變使該薄膜光罩緊密貼合于該曲面基板的該光阻層處，使該薄膜光罩曲面化；

其中，該軟性板材、該薄膜光罩層和該曲面基板依序堆棧后，共同置于一曝光機進行曝光，以使該光阻層形成該圖案。

較佳地，該薄膜光罩更包含：

多個定位孔，形成于該薄膜基材上，通過一貼合治具使該薄膜基材定位，以與該曲面基板進行準確對位。

較佳地，該高透光的彈性材料選自硅膠、硅油包覆軟性外層、硅有機材料和含氟有機材料。

較佳地，該軟性板材的底部制作為與該曲面基板相符的曲面。

本發明還提供一種貼合與曝光輔助裝置，可使一曲面基板形成具有一曲面圖案的一光阻層，包含：

一薄膜光罩，包含：