[發明專利]薄膜光罩、貼合輔具、貼合與曝光輔助裝置

在審

• 申請號: 201610003321.6
• 申請日: 2016-01-04
• 公開（公告）號: CN106597805A
• 公開（公告）日: 2017-04-26
• 發明（設計）人: 許銘案;林文福
• 申請（專利權）人: 許銘案;林文福
• 主分類號: G03F1/62
• 分類號: G03F1/62;G03F1/64
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司11228
• 代理人: 張秋越

1.一種薄膜光罩，用以貼合于一曲面基板，使該曲面基板可制作出一光阻層，其特征在于，該薄膜光罩包含：

一薄膜基材，由一撓性材料構成；及

一薄膜光罩層，形成于該薄膜基材上，該薄膜光罩層構成一圖案，該圖案可視，該薄膜光罩層貼合于該曲面基板的該光阻層處；

其中，該薄膜基材的厚度介于1-100微米之間，該薄膜光罩層介于10-3000納米之間。

2.如權利要求1所述的薄膜光罩，其特征在于，該撓性材料為PET。

3.如權利要求1所述的薄膜光罩，其特征在于，更包含：

多個定位孔，形成于該薄膜基材上，通過一貼合治具使該薄膜基材定位，以與該曲面基板進行準確對位。

4.一種用于權利要求1所述的薄膜光罩的貼合輔具，用以于該薄膜光罩貼合于該曲面基板時，輔助該薄膜光罩壓合于該曲面基板，并作為該薄膜光罩與一曝光機的界面，其特征在于，包含：

一軟性板材，由一高透光的彈性材料構成，可穿透300至500納米的光，可產生形變，并于該薄膜光罩貼合于該曲面基板時，受一外力而產生形變使該薄膜光罩緊密貼合于該曲面基板的該光阻層處，使該薄膜光罩曲面化。

5.如權利要求4所述的貼合輔具，其特征在于，該高透光的彈性材料選自硅膠、硅油包覆軟性外層、硅有機材料和含氟有機材料。

6.如權利要求4所述的貼合輔具，其特征在于，該軟性板材的底部制作為與該曲面基板相符的曲面。

7.一種貼合與曝光輔助裝置，可使一曲面基板形成具有一曲面圖案的一光阻層，其特征在于，包含：

一薄膜光罩，包含：

一薄膜基材，由一撓性材料構成，該薄膜基材上配置有多個定位孔，由一貼合治具，借由該些定位孔使該薄膜基材定位，以與該曲面基板進行準確對位；及

一薄膜光罩層，形成于該薄膜基材上，該薄膜光罩層構成一圖案，該圖案可視；及

其中，該薄膜基材的厚度介于1-100微米之間，該薄膜光罩層介于10-3000納米之間；

一軟性板材，由可產生形變的一高透光的彈性材料構成，可穿透300至500納米的光，并于該薄膜光罩貼合于該曲面基板的該光阻層時，受一外力而產生形變使該薄膜光罩緊密貼合于該曲面基板的該光阻層處，使該薄膜光罩曲面化；

其中，該軟性板材、該薄膜光罩層和該曲面基板依序堆棧后，共同置于一曝光機進行曝光，以使該光阻層形成該圖案。

8.如權利要求7所述的貼合與曝光輔助裝置，其特征在于，該薄膜光罩更包含：

多個定位孔，形成于該薄膜基材上，通過一貼合治具使該薄膜基材定位，以與該曲面基板進行準確對位。

9.如權利要求7所述的貼合與曝光輔助裝置，其特征在于，該高透光的彈性材料選自硅膠、硅油包覆軟性外層、硅有機材料和含氟有機材料。

10.如權利要求所述7的曝光輔助裝置，其特征在于，該軟性板材的底部制作為與該曲面基板相符的曲面。

11.一種貼合與曝光輔助裝置，可使一曲面基板形成具有一曲面圖案的一光阻層，其特征在于，包含：

一薄膜光罩，包含：

一薄膜基材，由一撓性材料構成，該薄膜基材上配置有多個定位孔，由一貼合治具，借由該些定位孔使該薄膜基材定位，以與該曲面基板進行準確對位；及

一薄膜光罩層，形成于該薄膜基材上，該薄膜光罩層構成一圖案，該圖案可視；及

其中，該薄膜基材的厚度介于1-100微米之間，該薄膜光罩層介于10-3000納米之間；

一硬式板材，預先制作為與該曲面基板相符的曲面，并于該薄膜光罩貼合于該曲面基板時，壓合該薄膜光罩使該薄膜光罩緊密貼合于該曲面基板的該光阻層處，而使該薄膜光罩曲面化；

其中，貼合有該薄膜光罩層的該曲面基板，置于一曝光機進行曝光，以使該光阻層形成該圖案。

12.如權利要求11所述的貼合與曝光輔助裝置，其特征在于，該撓性材料為PET。

13.如權利要求11所述的貼合與曝光輔助裝置，其特征在于，使該薄膜光罩貼合于該曲面基板以抽真空的方式實現。