[其他]工作臺裝置、輸送裝置和半導體制造裝置

有效

• 申請號: 201590000291.2
• 申請日: 2015-01-09
• 公開（公告）號: CN207624385U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 佐藤俊德
• 申請（專利權）人: 日本精工株式會社
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;B23Q1/44;H01L21/027;H01L21/68
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 周蕾

本實用新型涉及工作臺裝置、輸送裝置和半導體制造裝置，其中，工作臺裝置（100）包括：第一部件（1），其能夠在規定面內移動；第二部件（2），其能夠相對于第一部件進行相對移動；第一導向裝置（4），其至少一部分配置于第一部件，引導第二部件以使第二部件通過第一部件的移動而在與第一軸平行的方向上移動，第一軸與規定面正交；工作臺，其具有由第二部件支承的第一部分；以及多個第二導向裝置（5），其至少一部分與工作臺的多個第二部分分別連接，引導工作臺以使工作臺在與第一軸平行的方向上移動，上述多個第二部分以包圍第一部分的方式配置。

技術領域

本實用新型涉及工作臺裝置、輸送裝置和半導體制造裝置。

背景技術

在輸送裝置中，使用例如如專利文獻1中公開的設置有能夠移動的工作臺的工作臺裝置。

專利文獻1：日本特開2004－195620號公報

實用新型內容

在工作臺裝置中，如果在需要使工作臺沿目標軌道移動時，該工作臺偏離目標軌道，則有可能導致設置有該工作臺裝置的輸送裝置的性能降低。例如雖然需要使工作臺在鉛垂方向上筆直地移動，但是如果該工作臺不筆直地移動，則工作臺的定位精度降低。由此，有可能無法將載置于該工作臺上的物體配置于期望的位置。

本實用新型的目的在于提供一種能夠使工作臺沿目標軌道移動的工作臺裝置。此外，本實用新型的目的在于提供一種能夠抑制性能降低的輸送裝置。

本實用新型的第一形態，提供一種工作臺裝置，其包括：第一部件，其能夠在規定面內移動；第二部件，其能夠相對于上述第一部件進行相對移動；第一導向裝置，其至少一部分配置于上述第一部件，引導上述第二部件以使上述第二部件通過上述第一部件的移動而在與第一軸平行的方向上移動，上述第一軸與上述規定面正交；工作臺，其具有由上述第二部件支承的第一部分；以及多個第二導向裝置，其至少一部分與上述工作臺的多個第二部分分別連接，引導上述工作臺以使述工作臺在與上述第一軸平行的方向上移動，上述多個第二部分以包圍上述第一部分的方式配置。

根據本實用新型的第一形態，由于以包圍第二部件的方式設置多個第二導向裝置，能夠使工作臺沿目標軌道高精度地移動。第二導向裝置在與第一軸平行的方向上對工作臺進行引導。因此，工作臺能夠在與第一軸平行的方向上筆直地移動。由此，能夠抑制工作臺的定位精度的降低。因此，能夠將工作臺及由該工作臺支承的物體配置在目標位置。

在本實用新型的第一形態中，也可以是上述第一部分在上述規定面內包含上述工作臺的中央部，上述第二部分在上述規定面內配置于上述工作臺的邊緣部。由此，能夠使工作臺沿目標軌道高精度地移動。

在本實用新型的第一形態中，也可以是在上述規定面內上述工作臺呈矩形，上述第二導向裝置與上述工作臺的四個角部分別連接。由此，能夠使工作臺沿目標軌道高精度地移動。

在本實用新型的第一形態中，也可以是上述第一部分包含上述工作臺的重心，上述第一部分與規定于上述角部的多個上述第二部分中的每個第二部分之間的距離都相等。由此，能夠使工作臺沿目標軌道高精度地移動。

在本實用新型的第一形態中，也可以是上述第一導向裝置具有直線運動式滾動軸承，該滾動軸承包括：第一導軌；以及第一滑動件，其能夠相對于上述第一導軌進行相對移動，上述第二導向裝置具有直線運動式滾動軸承，該滾動軸承包括：第二導軌；以及第二滑動件，其能夠相對于上述第二導軌進行相對移動。由此，第一導向裝置和第二導向裝置能夠分別對工作臺進行高精度的引導。

在本實用新型的第一形態中，也可以是上述第二滑動件在與上述第一軸平行的方向上配置有多個。由此，第二導向裝置能夠對工作臺進行高精度的引導。