[其他]工作臺裝置、輸送裝置和半導體制造裝置

有效

• 申請號: 201590000291.2
• 申請日: 2015-01-09
• 公開（公告）號: CN207624385U
• 公開（公告）日: 2018-07-17
• 發明（設計）人: 佐藤俊德
• 申請（專利權）人: 日本精工株式會社
• 主分類號: G12B5/00
• 分類號: G12B5/00;B23Q1/44;H01L21/027;H01L21/68
• 代理公司: 北京德崇智捷知識產權代理有限公司 11467
• 代理人: 周蕾

1.一種工作臺裝置，其特征在于，包括：

第一部件，其能夠在規定面內移動；

第二部件，其能夠相對于所述第一部件進行相對移動；

第一導向裝置，其至少一部分配置于所述第一部件，引導所述第二部件以使所述第二部件通過所述第一部件的移動而在與第一軸平行的方向上移動，所述第一軸與所述規定面正交；

工作臺，其具有由所述第二部件支承的第一部分；以及

多個第二導向裝置，其至少一部分與所述工作臺的多個第二部分分別連接，引導所述工作臺以使所述工作臺在與所述第一軸平行的方向上移動，所述多個第二部分以包圍所述第一部分的方式配置,

在所述規定面內所述工作臺呈矩形，

所述第二導向裝置與所述工作臺的四個角部分別連接，

四個所述第二導向裝置分別連接于在所述規定面內與所述工作臺的重心在放射方向上距離相等的所述第二部分。

2.根據權利要求1所述的工作臺裝置，其特征在于：

所述第一部分在所述規定面內包含所述工作臺的中央部，

所述第二部分在所述規定面內配置于所述工作臺的邊緣部。

3.根據權利要求1所述的工作臺裝置，其特征在于：

所述第一部分包含所述工作臺的所述重心，

所述第一部分與規定于所述角部的多個所述第二部分中的每個第二部分之間的距離都相等。

4.根據權利要求1所述的工作臺裝置，其特征在于：

所述第一導向裝置具有直線運動式滾動軸承，該直線運動式滾動軸承包括：第一導軌；以及第一滑動件，其能夠相對于所述第一導軌進行相對移動，

所述第二導向裝置具有直線運動式滾動軸承，該直線運動式滾動軸承包括：第二導軌；以及第二滑動件，其能夠相對于所述第二導軌進行相對移動。

5.根據權利要求4所述的工作臺裝置，其特征在于：

所述第二滑動件在與所述第一軸平行的方向上配置有多個。

6.根據權利要求5所述的工作臺裝置，其特征在于，包括：

致動器，其產生動力，以使所述第一部件在與所述規定面內的第二軸平行的方向上移動；以及

第三導向裝置，其在與所述第二軸平行的方向上對所述第一部件進行引導，

所述第三導向裝置具有直線運動式滾動軸承，該滾動軸承包括：第三導軌；以及第三滑動件，其能夠相對于所述第三導軌進行相對移動。

7.根據權利要求6所述的工作臺裝置，其特征在于，包括：

所述第三導軌配置于所述第一部件，且所述第三滑動件被固定。

8.一種輸送裝置，其特征在于：

具有權利要求1所述的工作臺裝置。

9.一種半導體制造裝置，其特征在于：

具有權利要求1所述的工作臺裝置。