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[發明專利]經構造用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的設備、用于將材料沉積至在太陽能電池的制造中使用的基板上的系統及用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的方法在審

專利信息
申請號: 201580083274.4 申請日: 2015-09-25
公開(公告)號: CN108025546A 公開(公告)日: 2018-05-11
發明(設計)人: 丹尼爾·吉斯隆;丹尼爾·安德烈拉 申請(專利權)人: 應用材料意大利有限公司
主分類號: B41F15/08 分類號: B41F15/08;B41F15/34;H05K3/12
代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司 11006 代理人: 徐金國;趙靜
地址: 意大利圣比亞*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 構造 用于 絲網 裝置 相對于 太陽能電池 制造 使用 對準 設備 材料 沉積 基板上 系統 方法
【說明書】:

本公開內容提供經構造用于將絲網裝置(110)相對于在太陽能電池的制造中使用的基板(10)對準的設備(100)。該設備包括底座裝置(120)和一個或多個可旋轉裝置,一個或多個可旋轉裝置經構造以接觸絲網裝置(110),其中一個或多個可旋轉裝置中的至少一個第一可旋轉裝置(130)經由一個或多個彈性元件(140)而連接至底座裝置(110)。

技術領域

本公開內容的實施方式涉及經構造用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的設備、用于將材料沉積至在太陽能電池的制造中使用的基板上的系統及用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的方法。本公開內容的實施方式尤其涉及經構造用于在太陽能電池的制造中使用的基板上進行絲網印刷的設備。

背景技術

太陽能電池是將太陽光直接轉換成電力的光伏裝置。在這個領域內,已知的是在基板(諸如結晶硅底座)上,使用印刷技術(諸如絲網印刷)制造太陽能電池,所述印刷技術在太陽能電池的結構的一個或多個表面提供導線圖案(諸如選擇性發射極)。

在太陽能電池的制造中,基板和印刷頭可使用對準裝置相對于彼此而置中或對準。作為一個例子,印刷頭或印刷頭的部件(諸如絲網裝置)可相對于基板而移動。導線圖案可接著被印刷成相對于基板而對準。對準裝置可以使用對準裝置和絲網裝置之間的機械接觸,以移動和對準絲網裝置。隨著時間的推移,對準裝置會被磨損,且對準會變得不準確。對準裝置應在很短的時間間隔中被維修,以提供準確的對準,而用于維護對準裝置的成本很高。太陽能電池制造設備的停機時間會被增加,且基板產量會被降低。

有鑒于以上,克服了在本領域中的至少一些問題的經構造以用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的新設備、用于將材料沉積至在太陽能電池的制造中使用的基板上的新系統及用于將絲網裝置對準的新方法是有益的。具體地,存在有提供用于在一段長的時間周期允許準確對準的設備、系統和方法的需求。更具體地,存在有允許減少在絲網裝置的對準中所使用的機械部件的磨損的效果的設備、系統和方法的需求。

發明內容

有鑒于上,提供了經構造以用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的設備、用于將材料沉積至在太陽能電池的制造中使用的基板上的系統及用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的方法。本公開內容的進一步的方面、優點和特征從權利要求書、說明書和所附附圖而顯而易見。

根據本公開內容的一個方面,提供有經構造以用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的設備。所述設備包括底座裝置和一個或多個可旋轉裝置,一個或多個可旋轉裝置經構造以接觸絲網裝置,其中一個或多個可旋轉裝置的至少一個第一可旋轉裝置經由一個或多個彈性元件而連接至底座裝置。

根據本公開內容的另一個方面,提供有一種用于將材料沉積至在太陽能電池的制造中使用的基板上的系統。所述系統包括絲網裝置和根據本文所述的實施方式的經構造以用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的設備。

根據本公開內容的又一個方面,提供有一種用于將絲網裝置相對于在太陽能電池的制造中使用的基板對準的方法。所述方法包括以下步驟:將對準設備的一個或多個可旋轉裝置接觸絲網裝置,其中一個或多個可旋轉裝置的至少一個第一可旋轉裝置經由一個或多個彈性元件而連接至對準設備的底座裝置;及旋轉一個或多個可旋轉裝置的至少一個可旋轉裝置,以相對于基板對準絲網裝置。

實施方式還針對用于進行所公開的方法的設備并包括用于實施每一所述方法的方面的設備零件。這些方法的方面可由硬件部件、由適當的軟件所編程的計算機、上述兩者的任意組合,或以任何其它方式來實施。此外,根據本公開內容的實施方式還針對用于操作所述設備的方法。用于操作所述設備的方法包括用于進行設備的每一功能的方法的方面。

附圖說明

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