[發(fā)明專(zhuān)利]經(jīng)構(gòu)造用于將絲網(wǎng)裝置相對(duì)于在太陽(yáng)能電池的制造中使用的基板對(duì)準(zhǔn)的設(shè)備、用于將材料沉積至在太陽(yáng)能電池的制造中使用的基板上的系統(tǒng)及用于將絲網(wǎng)裝置相對(duì)于在太陽(yáng)能電池的制造中使用的基板對(duì)準(zhǔn)的方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580083274.4
• 申請(qǐng)日: 2015-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN108025546A
• 公開(kāi)（公告）日: 2018-05-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 丹尼爾·吉斯隆;丹尼爾·安德烈拉
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 應(yīng)用材料意大利有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): B41F15/08
• 分類(lèi)號(hào): B41F15/08;B41F15/34;H05K3/12
• 代理公司: 北京律誠(chéng)同業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11006
• 代理人: 徐金國(guó);趙靜

1.一種經(jīng)構(gòu)造以用于將絲網(wǎng)裝置相對(duì)于在太陽(yáng)能電池的制造中使用的基板對(duì)準(zhǔn)的設(shè)備，所述設(shè)備包含：

底座裝置；及

一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置，經(jīng)構(gòu)造以接觸所述絲網(wǎng)裝置，其中所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置中的至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)彈性元件而連接至所述底座裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的設(shè)備，其中所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置為三個(gè)或更少個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的設(shè)備，其中所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置經(jīng)構(gòu)造以通過(guò)所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置中的至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置圍繞旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)的旋轉(zhuǎn)而相對(duì)于所述基板對(duì)準(zhǔn)所述絲網(wǎng)裝置。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置經(jīng)構(gòu)造以在平行于所述基板的表面的二維平面中相對(duì)于所述基板對(duì)準(zhǔn)所述絲網(wǎng)裝置。

5.根據(jù)權(quán)利要求1-4中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置包括可旋轉(zhuǎn)地安裝到所述底座裝置的至少一個(gè)第二可旋轉(zhuǎn)裝置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1-5中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，進(jìn)一步包括安裝裝置，經(jīng)構(gòu)造以支撐所述至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置，所述至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置圍繞第一旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)是可旋轉(zhuǎn)的，其中所述安裝裝置經(jīng)由所述一個(gè)或多個(gè)彈性元件而連接到所述底座裝置。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的設(shè)備，其中所述一個(gè)或多個(gè)彈性元件包括將所述安裝裝置連接到所述底座裝置的第一彈性元件和第二彈性元件，且其中所述至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置被支撐在所述安裝裝置在所述第一彈性元件和所述第二彈性元件之間的位置處。

8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的設(shè)備，其中所述安裝裝置包括固定部分和可移動(dòng)部分，其中所述至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置通過(guò)所述可移動(dòng)部分而被可旋轉(zhuǎn)地支撐。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-8中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置經(jīng)由所述一個(gè)或多個(gè)彈性元件而連接到所述底座裝置，以在垂直于所述至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置的所述第一旋轉(zhuǎn)軸線(xiàn)的方向上是可移動(dòng)的。

10.根據(jù)權(quán)利要求1-9中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述一個(gè)或多個(gè)彈性元件是彈簧。

11.根據(jù)權(quán)利要求1-10中任一項(xiàng)所述的設(shè)備，其中所述底座裝置包括具有開(kāi)口的框架，所述開(kāi)口經(jīng)構(gòu)造以容納所述絲網(wǎng)裝置和所述基板中的至少一個(gè)。

12.一種用于將材料沉積至在太陽(yáng)能電池的制造中使用的基板上的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包含：

絲網(wǎng)裝置；及

根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項(xiàng)所述的設(shè)備。

13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的系統(tǒng)，進(jìn)一步包括至少一個(gè)印刷裝置，經(jīng)構(gòu)造以在所述基板上進(jìn)行絲網(wǎng)印刷。

14.一種用于將絲網(wǎng)裝置相對(duì)于在太陽(yáng)能電池的制造中使用的基板對(duì)準(zhǔn)的方法，所述方法包含以下步驟：

以對(duì)準(zhǔn)設(shè)備的一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置接觸所述絲網(wǎng)裝置，其中所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置中的至少一個(gè)第一可旋轉(zhuǎn)裝置經(jīng)由一個(gè)或多個(gè)彈性元件而連接至所述對(duì)準(zhǔn)設(shè)備的底座裝置；及

旋轉(zhuǎn)所述一個(gè)或多個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置中的至少一個(gè)可旋轉(zhuǎn)裝置，以相對(duì)于所述基板對(duì)準(zhǔn)所述絲網(wǎng)裝置。

15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的方法，其中所述對(duì)準(zhǔn)設(shè)備根據(jù)權(quán)利要求1-11中任一項(xiàng)而構(gòu)造。