[發(fā)明專利]太陽能電池的制造方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580082173.5
• 申請日: 2015-10-21
• 公開（公告）號: CN107924956B
• 公開（公告）日: 2020-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 森川浩昭;西野裕久;中澤幸子;浜篤郎;細(xì)川雄一朗
• 申請（專利權(quán)）人: 三菱電機(jī)株式會社
• 主分類號: H01L31/0224
• 分類號: H01L31/0224;H01L31/0216;H01L31/18
• 代理公司: 11038 中國國際貿(mào)易促進(jìn)委員會專利商標(biāo)事務(wù)所
• 代理人: 肖靖

1.一種太陽能電池的制造方法，其特征在于，包括：

將具有第1部位和第2部位的擴(kuò)散層形成于半導(dǎo)體基板的受光面?zhèn)鹊牟襟E，其中，所述第1部位包含第1濃度的雜質(zhì)且具有第1電阻值，所述第2部位為所述雜質(zhì)的濃度是高于所述第1濃度的第2濃度且具有小于所述第1電阻值的第2電阻值的部位；

在進(jìn)行形成所述擴(kuò)散層的步驟之后，在所述擴(kuò)散層之上形成作為硅氮化膜的防反射膜的步驟；

在進(jìn)行形成所述防反射膜的步驟之后，使針對所述第1部位的反射率大于針對所述第2部位的反射率并且波長是392nm至470nm中的任意波長的檢測光通過所述防反射膜而照射到所述擴(kuò)散層的步驟；

基于被所述擴(kuò)散層的各部位反射的所述檢測光的反射率的差異，檢測所述擴(kuò)散層中的與第1反射率對應(yīng)的所述第1部位和與小于所述第1反射率的第2反射率對應(yīng)的所述第2部位的步驟；以及

在檢測到的所述第2部位形成受光面?zhèn)入姌O的步驟，

所述第2部位包括直線狀的部位和與所述直線狀的部位相接的對準(zhǔn)標(biāo)記，

在檢測所述第1部位和所述第2部位的步驟中，著眼于所述對準(zhǔn)標(biāo)記，從而檢測所述第2部位，

所述防反射膜的厚度是下限的厚度至上限的厚度中的任意厚度，

所述下限的厚度是關(guān)于所述第1部位反射率最低的入射光的波長是444nm、并且關(guān)于所述第2部位反射率最低的入射光的波長是503nm的厚度，

作為所述下限的厚度與所述上限的厚度之間的厚度的標(biāo)準(zhǔn)的厚度是關(guān)于所述第1部位反射率最低的入射光的波長是576nm、并且關(guān)于所述第2部位反射率最低的入射光的波長是617nm的厚度，

所述上限的厚度是關(guān)于所述第1部位反射率最低的入射光的波長是638nm、并且關(guān)于所述第2部位反射率最低的入射光的波長是732nm的厚度，

所述檢測光是無論所述防反射膜的厚度是所述下限的厚度、所述標(biāo)準(zhǔn)的厚度以及所述上限的厚度中的哪個厚度，在兩次通過所述防反射膜的情況下針對所述第1部位的反射率都大于針對所述第2部位的反射率的光。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

所述檢測光的波長是402nm至408nm中的任意波長。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的太陽能電池的制造方法，其特征在于，

所述檢測光是從圓環(huán)狀的檢測光照明單元發(fā)出的光，

在檢測所述第1部位和所述第2部位的步驟中，使用透鏡和攝像機(jī)，根據(jù)如下差異，檢測所述第2部位，該差異是基于被所述擴(kuò)散層的各部位反射的所述檢測光的反射率的差異的差異，且是由所述攝像機(jī)取得的光的像的明亮度的差異，其中，

所述透鏡配置于法線上的相對于配置有所述半導(dǎo)體基板的工作臺比所述檢測光照明單元遠(yuǎn)的位置，該法線是作為通過所述檢測光照明單元的內(nèi)側(cè)的線的、針對所述工作臺的法線，

所述攝像機(jī)配置于所述法線上的相對于所述工作臺比所述透鏡遠(yuǎn)的位置。