[發(fā)明專利]成型模具、成型模具的制造方法和復(fù)制品的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580082025.3
• 申請(qǐng)日: 2015-09-03
• 公開（公告）號(hào): CN107848151B
• 公開（公告）日: 2020-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 山本和也;山本剛司
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 納盧克斯株式會(huì)社
• 主分類號(hào): B29C33/38
• 分類號(hào): B29C33/38;B29C33/42;G02B1/118;H01L21/302;H01L21/3065
• 代理公司: 北京三友知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11127
• 代理人: 龐東成;褚瑤楊

1.一種成型模具的制造方法，其包括：

在反應(yīng)性離子蝕刻裝置內(nèi)配置與六氟化硫反應(yīng)的半導(dǎo)體基材或金屬基材，

導(dǎo)入六氟化硫與氧的混合氣體，在等離子體干法蝕刻工藝中，使氧化物散布到該基材的表面，將該氧化物作為防蝕刻掩模，利用六氟化硫在該基材的表面進(jìn)行蝕刻，由此在該基材的表面形成微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)，

之后，在離子束蝕刻裝置內(nèi)對(duì)該微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)照射離子束以調(diào)整該基材的該微細(xì)凹凸結(jié)構(gòu)的凸部的形狀。

2.如權(quán)利要求1所述的成型模具的制造方法，其中，進(jìn)一步包括通過電鑄使該微細(xì)結(jié)構(gòu)再生。

3.如權(quán)利要求1或2所述的成型模具的制造方法，其中，在照射離子束時(shí)，該基材安裝于載臺(tái)的與相對(duì)于離子束的方向以0度至20度的范圍的角度傾斜的軸垂直的面，該載臺(tái)構(gòu)成為繞該軸旋轉(zhuǎn)。

4.如權(quán)利要求1或2所述的成型模具的制造方法，其中，該基材形成為基板或膜。

5.如權(quán)利要求1或2所述的成型模具的制造方法，其中，使用四氟化碳與氧的混合氣體或三氟甲烷與氧的混合氣體代替六氟化硫與氧的混合氣體。

6.一種成型模具，其通過權(quán)利要求1或2所述的方法進(jìn)行制造。

7.如權(quán)利要求6所述的成型模具，其為光學(xué)元件用的成型模具。

8.如權(quán)利要求6所述的成型模具，其為防反射結(jié)構(gòu)用的成型模具。

9.如權(quán)利要求6所述的成型模具，其為可見光區(qū)域的光的防反射結(jié)構(gòu)用的成型模具。

10.一種復(fù)制品的制造方法，其通過權(quán)利要求1或2所述的方法制造成型模具，

使用該成型模具通過成型而制造復(fù)制品。