[發明專利]光學干涉儀

在審

• 申請號: 201580081466.1
• 申請日: 2015-07-10
• 公開（公告）號: CN107850491A
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 藁科禎久;鈴木智史;笠森浩平;奧村亮介;港谷恭輔
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01B9/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

技術領域

本發明涉及MEMS所構成的光學干涉儀。

背景技術

在專利文獻1～12中公開有光學干涉儀的發明。另外，在其中的專利文獻1、2、4～7中公開有由MEMS(Micro Electro-Mechanical System(微機電系統))構成的小型化容易的光學干涉儀的發明。

專利文獻1所記載的光學干涉儀例如使用由硅構成的分支合波部，通過在該分支合波部的某一平面上使入射光的一部分反射并使剩余部分透過從而兩分支成第一分支光和第二分支光，并且對這些第一分支光和第二分支光進行合波并作為合波光進行輸出。即，在該光學干涉儀中，分支合波部的一平面作為將入射光兩分支成第一分支光和第二分支光的分支面以及對第一分支光和第二分支光進行合波而成為合波光的合波面的雙方而被共同地使用。另外，在該文獻所記載的光學干涉儀中，因為第一分支光以及第二分支光中的一方的光在往返于分支合波部的內部的期間產生波長分散，所以另一方的光以往返于分散補償用構件的內部的方式謀求波長分散的問題的解除。

專利文獻8所記載的光學干涉儀例如使用由硅構成的分支合波部，通過在該分支合波部的第一主面上使入射光的一部分反射并使剩余部分透過從而兩分支成第一分支光和第二分支光，在分支合波部的第二主面上對第一分支光和第二分支光進行合波并作為合波光進行輸出。即，在該光學干涉儀中，將入射光兩分支成第一分支光和第二分支光的分支面(第一主面)、和對第一分支光和第二分支光進行合波而成為合波光的合波面(第二主面)被作為不同的面。在該文獻所記載的光學干涉儀中，因為第一分支光以及第二分支光分別只通過分支合波部的內部1次所以能夠抑制波長分散的問題。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2013-504066號公報

專利文獻2：日本專利第5204450號公報

專利文獻3：日本特開2005-3572號公報

專利文獻4：日本特開2008-102132號公報

專利文獻5：日本特表2008-503732號公報

專利文獻6：日本特開2010-170029號公報

專利文獻7：日本特表2013-522600號公報

專利文獻8：日本特開平3-77029號公報

專利文獻9：日本特公平7-23856號公報

專利文獻10：日本特開平7-139906號公報

專利文獻11：日本特開昭60-11123號公報

專利文獻12：日本特開昭61-19531號公報

發明內容

發明所要解決的技術問題

本發明人發現了，專利文獻1等所記載的現有的光學干涉儀具有如以下所述的問題。

即，專利文獻1所記載的光學干涉儀由于分支合波部(例如硅)與周圍的介質(通常是空氣)之間的邊界面多，所以從分支到合波的期間的光的損失大?？梢哉J為如果假設能夠將反射防止膜形成于特定的邊界面的話則能夠減少光的損失，但是，因為由MEMS構成的光學干涉儀是小型的所以選擇性地將反射防止膜形成于特定的邊界面是困難的，并且減少光的損失是困難的。

專利文獻8所記載的光學干涉儀如果與專利文獻1所記載的光學干涉儀相比較的話則因為分支合波部與周圍的介質之間的邊界面少，所以從分支到合波的期間的光的損失小。但是，在專利文獻8所記載的光學干涉儀中，干涉效率差。

包含其他專利文獻所記載的技術的現有的技術在由MEMS構成的光學干涉儀中不能夠實現光損失的減少以及干涉效率的改善。

本發明是為了解決上述問題而完成的，其目的在于，提供一種能夠減小從分支到合波的期間的光的損失并且能夠改善干涉效率的由MEMS構成的光學干涉儀。

解決問題的技術手段