[發明專利]光學干涉儀

在審

• 申請號: 201580081466.1
• 申請日: 2015-07-10
• 公開（公告）號: CN107850491A
• 公開（公告）日: 2018-03-27
• 發明（設計）人: 藁科禎久;鈴木智史;笠森浩平;奧村亮介;港谷恭輔
• 申請（專利權）人: 浜松光子學株式會社
• 主分類號: G01J3/45
• 分類號: G01J3/45;G01B9/02
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司11322
• 代理人: 楊琦

1.一種光學干涉儀，其特征在于：

具備由MEMS構成的分支合波部、第一光學系統、第二光學系統以及驅動部，

所述分支合波部在透明構件的內部與外部之間的邊界具有分支面、入射面、出射面以及合波面，

所述分支面和所述合波面是不同的面，

所述分支合波部在所述分支面上使從外部入射的入射光的一部分反射并作為第一分支光出射，并且將剩余部分作為第二分支光向內部透過，

所述分支合波部在所述入射面上使從所述分支面經所述第一光學系統入射的所述第一分支光向內部透過，

所述分支合波部在所述出射面上使從所述分支面經內部到達的所述第二分支光向外部出射，

所述分支合波部在所述合波面上使從所述入射面經內部到達的所述第一分支光向外部出射，并且使從所述出射面經所述第二光學系統入射的所述第二分支光反射，對所述第一分支光和所述第二分支光進行合波并作為合波光向外部出射，

所述第一光學系統由1個或者多個鏡使從所述分支面出射的所述第一分支光反射并入射到所述入射面，

所述第二光學系統由1個或者多個鏡使從所述出射面出射的所述第二分支光反射并入射到所述合波面，

所述驅動部使所述第一光學系統或者第二光學系統的任意的鏡移動并調整從所述分支面到所述合波面為止的所述第一分支光以及所述第二分支光各自的光路長的差，

所述第一光學系統的鏡的個數與所述第二光學系統的鏡的個數之和為偶數，

對所述入射光的光束截面中的各個位置的光線在所述分支面上進行分支之后在所述合波面上在所述合波光的光束截面中的共同位置上進行合波。

2.如權利要求1所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的內部中的所述第一分支光以及所述第二分支光各自的光路長互相相等。

3.如權利要求1或者2所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述分支面和所述出射面互相平行。

4.如權利要求1～3中的任意一項所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述入射面和所述合波面互相平行。

5.如權利要求1～4中的任意一項所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述分支面和所述入射面互相平行。

6.如權利要求5所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述分支面和所述入射面處于共同的平面上。

7.如權利要求6所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述分支面上的所述入射光的入射區域和所述入射面上的所述第一分支光的入射區域互相一致。

8.如權利要求1～7中的任意一項所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述出射面和所述合波面互相平行。

9.如權利要求8所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述出射面和所述合波面處于共同的平面上。

10.如權利要求9所述的光學干涉儀，其特征在于：

所述分支合波部的所述出射面上的所述第二分支光的出射區域和所述合波面上的所述合波光的出射區域互相一致。

11.如權利要求1～10中的任意一項所述的光學干涉儀，其特征在于：

進一步具備檢測從所述分支合波部的所述合波面向外部出射的所述合波光的檢測部。