[發(fā)明專利]中繼裝置及制造系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201580080787.X
• 申請日: 2015-06-12
• 公開（公告）號: CN107615444B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 清水浩二
• 申請（專利權(quán)）人: 株式會社富士
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 中原信達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;謝麗娜

本發(fā)明提供將遵照SECS/GEM協(xié)議的通信向其它通信協(xié)議的制造系統(tǒng)進(jìn)行中繼而能夠通過SECS/GEM主機統(tǒng)一地進(jìn)行管理的中繼裝置及制造系統(tǒng)。中繼裝置(19)執(zhí)行SECS/GEM協(xié)議與非SECS/GEM的專有協(xié)議的協(xié)議轉(zhuǎn)換，對在用戶主機(17)與制造商主機(11)等之間被傳送的數(shù)據(jù)進(jìn)行轉(zhuǎn)送。另外，中繼裝置(19)基于設(shè)定了制造商主機(11)等的本地IP地址和與其對應(yīng)的TCP協(xié)議的端口號的端口對應(yīng)數(shù)據(jù)庫，來執(zhí)行轉(zhuǎn)送處理。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及對遵照SECS/GEM協(xié)議的通信進(jìn)行中繼的中繼裝置及經(jīng)由該中繼裝置進(jìn)行通信的制造系統(tǒng)。

背景技術(shù)

以往，在半導(dǎo)體制造系統(tǒng)所使用的通信協(xié)議中，例如，普及有SEMI(SemicondutorEquipment and Materials International：國際半導(dǎo)體設(shè)備材料產(chǎn)業(yè)協(xié)會)所規(guī)定的SECS/GEM協(xié)議。此外，SECS是“Semiconductor Equipment Communication Standard：半導(dǎo)體設(shè)備通訊標(biāo)準(zhǔn)”的簡稱。另外，GEM是“Generic Model For Communications and Controlof Manufacturing Equipment：通用設(shè)備模型”的簡稱。

例如，存在有通過遵照SECS/GEM協(xié)議的通信網(wǎng)絡(luò)來連接切割裝置、焊接裝置等半導(dǎo)體制造裝置與管理這些半導(dǎo)體制造裝置的主機(以下，存在有稱為“SECS/GEM主機”的情況)而成的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)(例如，專利文獻(xiàn)1等)。

現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)

專利文獻(xiàn)1：日本特開平7-45489號公報

發(fā)明內(nèi)容

發(fā)明所要解決的課題

通過使用上述SECS/GEM協(xié)議來實現(xiàn)制造系統(tǒng)內(nèi)的通信協(xié)議的通用化，SECS/GEM主機能夠統(tǒng)一地管理不同制造商的半導(dǎo)體制造裝置。另外，近年來，存在有想要通過一個主機統(tǒng)一地管理使用SECS/GEM協(xié)議的半導(dǎo)體制造系統(tǒng)和未遵照SECS/GEM協(xié)議的通信協(xié)議(以下，存在有稱為“非SECS/GEM協(xié)議”的情況)的制造系統(tǒng)這樣的迫切期望。該非SECS/GEM協(xié)議的制造系統(tǒng)例如是將電子元件向電路基板安裝的基板安裝制造系統(tǒng)。

然而，例如，在想要由SECS/GEM主機實施基板安裝制造系統(tǒng)對基板安裝裝置的控制的情況下，需要基板安裝裝置具備與SECS/GEM協(xié)議對應(yīng)的接口。另外，即使在該情況下，雖然SECS/GEM主機能夠執(zhí)行從基板安裝裝置取得所需的數(shù)據(jù)的作業(yè)，但是無法對管理基板安裝制造系統(tǒng)的主機執(zhí)行直接的通信。在該情況下，SECS/GEM主機例如無法取得基板安裝制造系統(tǒng)的主機所管理的控制數(shù)據(jù)等。因此，在統(tǒng)一SECS/GEM協(xié)議的制造系統(tǒng)和非SECS/GEM協(xié)議的制造系統(tǒng)的情況中存在有改善的余地。

本發(fā)明就是鑒于上述課題而作成的，其目的在于提供將遵照SECS/GEM協(xié)議的通信向其它的通信協(xié)議的制造系統(tǒng)進(jìn)行中繼而能夠通過SECS/GEM主機統(tǒng)一地進(jìn)行管理的中繼裝置及制造系統(tǒng)。

用于解決課題的技術(shù)方案

在鑒于上述課題而作成的本申請中公開的技術(shù)所涉及的中繼裝置的特征在于，在具備通過遵照SECS/GEM協(xié)議的通信來執(zhí)行控制的主機和基于未遵照SECS/GEM協(xié)議的非SECS/GEM協(xié)議進(jìn)行通信的多個裝置的制造系統(tǒng)中，執(zhí)行如下處理：協(xié)議轉(zhuǎn)換處理，當(dāng)在主機與多個裝置中的各裝置之間傳送數(shù)據(jù)時，執(zhí)行SECS/GEM協(xié)議與非SECS/GEM協(xié)議的轉(zhuǎn)換；及轉(zhuǎn)送處理，設(shè)定與多個裝置中的各裝置對應(yīng)的多個通信端口，通過與作為發(fā)送數(shù)據(jù)的發(fā)送目的地的裝置對應(yīng)的通信端口來接收從主機向多個裝置中的各裝置所發(fā)送的發(fā)送數(shù)據(jù)，并將協(xié)議轉(zhuǎn)換處理后的數(shù)據(jù)向與通信端口對應(yīng)的裝置轉(zhuǎn)送。