[發明專利]中繼裝置及制造系統

有效

• 申請號: 201580080787.X
• 申請日: 2015-06-12
• 公開（公告）號: CN107615444B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發明（設計）人: 清水浩二
• 申請（專利權）人: 株式會社富士
• 主分類號: H01L21/02
• 分類號: H01L21/02
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;謝麗娜

1.一種中繼裝置，其特征在于，

在具備通過遵照SECS/GEM協議的通信來執行控制的主機和基于未遵照SECS/GEM協議的非SECS/GEM協議進行通信的多個裝置的制造系統中，執行如下處理：

協議轉換處理，當在所述主機與所述多個裝置中的各裝置之間傳送數據時，執行所述SECS/GEM協議與所述非SECS/GEM協議的轉換；及

轉送處理，設定與所述多個裝置中的各裝置對應的多個通信端口，通過與作為發送數據的發送目的地的裝置對應的通信端口來接收從所述主機向所述多個裝置中的各裝置所發送的所述發送數據，并將所述協議轉換處理后的數據向與所述通信端口對應的裝置轉送。

2.根據權利要求1所述的中繼裝置，其特征在于，

根據設定于從所述主機發送的所述發送數據內且基于所述SECS/GEM協議的標準而設定的表示所述發送數據的內容的流及函數中的至少一方，來變更轉送目的地。

3.根據權利要求2所述的中繼裝置，其特征在于，

所述多個裝置包括作業機和對控制所述作業機的控制數據進行管理的管理裝置，

在所述流及所述函數中的至少一方的編號為與所述控制數據相關的編號的情況下，將所述管理裝置設定為所述轉送目的地。

4.一種制造系統，具備：權利要求1～3中任一項所述的中繼裝置；通過遵照SECS/GEM協議的通信來執行控制的主機；及基于未遵照SECS/GEM協議的非SECS/GEM協議進行通信的多個裝置，所述制造系統的特征在于，

所述多個裝置包括作業機和對控制所述作業機的控制數據進行管理的管理裝置，

所述主機在通過所述控制數據對所述作業機進行控制而開始作業之前執行從所述管理裝置取得所述控制數據的控制數據取得處理。

5.根據權利要求4所述的制造系統，其特征在于，

在所述控制數據取得處理中，所述主機在所述管理裝置中保存有與要取得的所述控制數據對應的多個版本的情況下執行報知保存有所述多個版本的報知處理。