[發明專利]金屬基板和使用該金屬基板的沉積掩膜

有效

• 申請號: 201580080724.4
• 申請日: 2015-08-25
• 公開（公告）號: CN107709601B
• 公開（公告）日: 2019-12-13
• 發明（設計）人: 盧健鎬;曹守鉉;黃周炫;金南昊;李相范;林正龍;韓太勛;文炳律;樸宰奭;孫曉源
• 申請（專利權）人: LG伊諾特有限公司
• 主分類號: C23C14/04
• 分類號: C23C14/04;H01L51/56
• 代理公司: 11227 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 王艷江;董敏

本發明的實施方式涉及一種可適用于有機發光器件等的沉積工藝的掩膜結構，并且允許提供一種沉積掩膜，該沉積掩膜包括：第一表面和第二表面，該第一表面和第二表面在金屬板的厚度方向正交并且彼此面對；以及多個單位孔，多個單位孔具有穿過第一表面和第二表面并且彼此連通的第一表面孔和第二表面孔，其中，基于在任選的單位孔之間的尺寸變化將在相鄰單位孔之間的第一表面孔或第二表面孔的尺寸變化控制在2％至10％之內，或者基于第一表面的表面將第一表面孔的中心和第二表面孔的中心布置在中心彼此不重合的位置。

技術領域

本發明的實施方式涉及可適用于有機發光器件的沉積工藝的金屬板以及使用該金屬板的掩膜結構。

背景技術

在包括有機EL發光器件的有機電致發光(EL)彩色顯示器的制造過程中，通過真空沉積工藝來形成包括有機材料的有機層。在這種情況下，已經使用了具有與有機層的圖案匹配的用于滲透材料的多個孔的沉積掩膜。通常，可以通過在金屬薄膜上施用光阻膜來在曝光圖案之后通過執行蝕刻工藝的光刻方案或者通過在以所期望的圖案電鍍玻璃片之后執行分層工藝的電成形方案來形成構成沉積掩膜的孔。

常規的沉積掩膜實現為通常的金屬掩膜的形式。然而，用于通常的金屬掩膜的方案僅集中于精確地實現用于沉積的開口區域。然而，通過上述方案，沒有提高沉積效率并且沒有顯著產生減少不經受沉積的死區的效果。

發明內容

[技術問題]

本發明的實施方式是為了解決上述問題而做出的并且可以提供一種沉積掩膜，該沉積掩膜具有在調節彼此相鄰的單位沉積微孔之間的均勻性并且執行沉積工藝之后能夠防止有機發光器件(OLED)面板的色斑和摩爾紋(Moire)的結構。

另外，本發明的另一實施方式可以提供一種沉積掩膜，該沉積掩膜能夠通過將構成用于沉積的單位孔的第一表面孔和第二表面孔布置成使得第一表面孔的中心與第二表面孔的中心不匹配來提高沉積效率，并且能夠使在沉積中不經受沉積工藝的死區最小化，從而即使在大面積的沉積目標中也能夠提高沉積的均勻性。

特別地，可以提供一種金屬基板，該金屬基板使在對將要被制造成沉積掩膜的金屬板進行蝕刻時所發生的扭曲最小化。此外，可以基于金屬基板實現包括用于沉積的多個單位孔的沉積掩膜。另外，通過控制沉積掩膜的單位孔的粗糙度可以增加沉積效率。

[技術方案]

為了解決這些問題，根據本發明的實施方式可以提供一種包括具有厚度的金屬板的沉積掩膜。該金屬板可以包括第一表面和第二表面以及多個單位孔，其中，第一表面和第二表面垂直于厚度的方向并且彼此相反，多個單位孔具有第一表面孔和第二表面孔，第一表面孔和第二表面孔形成為分別穿過第一表面和第二表面以彼此連接。在彼此相鄰的單位孔之間的第一表面孔或第二表面孔中的尺寸差值可以在任意單位孔之間的尺寸差值的10％以內。

另外，根據本發明的另一實施方式可以提供一種包括具有厚度(t)的金屬板的沉積掩膜。金屬板可以包括第一表面和第二表面以及多個單位孔，其中，第一表面和第二表面垂直于厚度的方向并且彼此相反，多個單位孔具有形成為分別穿過第一表面和第二表面以彼此連接的第一表面孔和第二表面孔。金屬板可以包括至少一個單位孔，其中，第一表面孔的中心與第二表面孔的中心關于第一表面的表面不匹配。

另外，根據本發明的又一實施方式可以提供一種包括具有厚度的基部金屬板的金屬基板。基部金屬板包括垂直于厚度方向且彼此相反的第一表面和第二表面。從基部金屬板的特定點處提取尺寸為30mm×180mm(寬度×長度)的樣品基板，并且對樣品基板的除了從樣品基板200的兩個端部向內10mm(部分220)以外的內部進行蝕刻處理，使得形成厚度對應于樣品基板厚度的2/3至1/2的蝕刻區域。然后，當樣品基板安裝在水平目標表面上時，樣品基板的扭曲指數(Hr)滿足以下關系。

[公式1]