[發明專利]用于測量沉積速率的方法及沉積速率控制系統

在審

• 申請號: 201580080549.9
• 申請日: 2015-06-17
• 公開（公告）號: CN107709604A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 喬斯·曼紐爾·迭格斯-坎波;海克·蘭特格雷夫;托馬斯·科赫;斯蒂芬·班格特
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國,趙靜

技術領域

本公開內容涉及一種用于控制蒸發材料(evaporated material)的沉積速率的方法、一種沉積速率控制系統、以及一種用于材料的蒸發的蒸發源。本公開內容特別涉及一種用于控制蒸發的有機材料的沉積速率的方法及控制系統。

背景技術

有機物蒸發器是用于生產有機發光二極管(OLED)的工具。OLED是特殊類型的發光二極管，其中發射層包括某些有機化合物的薄膜。有機發光二極管(OLED)被用來制造用于顯示信息的電視屏幕、電腦顯示屏、移動電話、其他手持裝置等。OLED也可用于一般空間照明。OLED顯示器的可行的顏色、亮度、和視角的范圍大于傳統的LCD顯示器的這些特性，因為OLED像素直接地發光且不包含背光。因此，相較傳統的LCD顯示器的能量損耗，OLED顯示器的能量損耗相當地少。此外，OLED可制造于柔性基板上的事實產生進一步的應用。

OLED的功能取決于有機材料的涂層厚度。這個厚度必須在預定范圍中。在OLED的制造中，產生具有有機材料的涂層的沉積速率因而被控制為落在預定公差范圍中。也就是說，必須在生產工藝中充分地控制有機物蒸發器的沉積速率。

因此，對于OLED應用及對于其他蒸發工藝來說，需要在較長時間內的高準確性的沉積速率。現有多個可行的用于測量蒸發器的沉積速率的測量系統。然而，這些測量系統在所需的時間段中面臨準確性不足和/或穩定性不足的情況。

因此，對提供改進沉積速率測量方法、沉積速率控制系統、蒸發器及沉積設備有持續的需求。

發明內容

鑒于上述內容，提供根據獨立權利要求的一種用于測量蒸發材料的沉積速率的方法、一種沉積速率控制系統、一種蒸發源、及一種沉積設備。其他優點、特征、方面及細節由從屬權利要求、說明書及附圖而清楚。

根據本公開內容的一方面，提供一種用于測量蒸發材料的沉積速率的方法。所述方法包括以第一測量與第二測量之間的一時間間隔測量沉積速率，及根據所測量的沉積速率調整所述時間間隔。

根據本公開內容的另一方面，提供一種沉積速率控制系統。所述沉積速率控制系統包括：沉積速率測量組件，用于測量蒸發材料的沉積速率；控制器，連接至沉積速率測量組件；以及蒸發源，其中控制器被配置為提供控制信號至沉積速率測量組件。特定地，控制器被配置為執行程序代碼，其中在執行所述程序代碼時，進行根據本文所述實施例的用于測量蒸發材料的沉積速率的方法。

根據本公開內容的進一步的方面，提供一種用于蒸發材料的蒸發源。所述蒸發源包括：蒸發坩鍋，其中蒸發坩鍋被配置為蒸發材料；分配管，具有沿著分配管的長度設置的一或多個出口以用于以一沉積速率提供蒸發材料至基板，其中分配管與蒸發坩鍋流體連通；以及根據本文所述實施例的沉積速率控制系統。

根據本公開內容的再另一方面，提供一種沉積設備，用于在真空腔室中以一沉積速率施加材料至基板。所述沉積設備包括根據本文所述實施例的至少一個蒸發源。

本公開內容還針對一種用于執行所揭露的方法的設備，所述設備包括用于執行所述方法的設備部件。所述方法可通過硬件部件、由合適的軟件編程的計算機、上述兩者的任何結合或任何其他方式執行。此外，本公開內容還針對所描述的設備的操作方法。所述操作方法包括用于執行所述設備的各功能的方法。

附圖說明

為了使本文所述的本公開內容的上述特征能被詳細地了解，可通過參照實施例獲得以上簡要概述的更特定的描述。附圖有關于本公開內容的實施例且被說明于下：

圖1示出方塊圖，所述方塊圖示出根據本文所述實施例的用于測量蒸發材料的沉積速率的方法；

圖2示出根據本文所述實施例的沉積速率控制系統的示意圖；

圖3示出根據本文所述實施例的沉積速率控制系統的示意圖；

圖4示出根據本文所述實施例的沉積速率控制系統的示意圖；

圖5示出根據如本文所述的用于測量沉積速率的方法的實施例來測量沉積速率的示意圖；

圖6A和6B各示出方塊圖，所述方塊圖示出如本文所述的用于測量蒸發材料的沉積速率的方法的實施例；

圖7A示出根據本文所述實施例的處于第一狀態中的測量組件的示意圖；

圖7B示出根據本文所述實施例的處于第二狀態中的測量組件的示意側視圖；

圖8A及8B示出根據本文所述實施例的蒸發源的示意側視圖；以及