[發明專利]用于測量沉積速率的方法及沉積速率控制系統

在審

• 申請號: 201580080549.9
• 申請日: 2015-06-17
• 公開（公告）號: CN107709604A
• 公開（公告）日: 2018-02-16
• 發明（設計）人: 喬斯·曼紐爾·迭格斯-坎波;海克·蘭特格雷夫;托馬斯·科赫;斯蒂芬·班格特
• 申請（專利權）人: 應用材料公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;C23C14/54
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司11006
• 代理人: 徐金國,趙靜

1.一種用于測量蒸發材料的沉積速率的方法(100)，所述方法包括

-以第一測量與第二測量之間的一時間間隔測量(110)所述沉積速率，及

-根據所測量的沉積速率調整(120)所述時間間隔。

2.如權利要求1所述的方法(100)，其中對所測量的沉積速率的依賴關系是所述沉積速率的函數。

3.如權利要求1或2所述的方法(100)，其中所測量的沉積速率的所述函數選自由以下項組成的組：所述沉積速率的斜率、在預定范圍中的所述沉積速率的布爾決策、所測量的沉積速率與預定沉積速率的標稱/設定值的差的多項式函數、以及所測量的沉積速率的振動函數。

4.如權利要求1至3的任一項所述的方法(100)，進一步包括在所述第一測量與所述第二測量之間遮蔽(130)沉積速率測量裝置以使所述沉積速率測量裝置不受蒸發材料的影響。

5.如權利要求4所述的方法(100)，其中遮蔽(130)的步驟包括移動遮板(213)于所述沉積速率測量裝置(211)與測量出口(230)之間，所述測量出口(230)用于提供蒸發材料至所述沉積速率測量裝置(211)。

6.如權利要求1至5的任一項所述的方法(100)，進一步包括在所述第一測量與所述第二測量之間清潔(140)所述沉積速率測量裝置(211)的沉積材料。

7.如權利要求6所述的方法(100)，其中清潔(140)的步驟包括從所述沉積速率測量裝置(211)蒸發所述沉積材料。

8.如權利要求7所述的方法(100)，其中從所述沉積速率測量裝置(211)蒸發所述沉積材料的步驟通過加熱所述沉積速率測量裝置來執行。

9.一種沉積速率控制系統(200)，包括：

-沉積速率測量組件(210)，用于測量蒸發材料的沉積速率，以及

-控制器(220)，連接至所述沉積速率測量組件(210)且連接至蒸發源(300)，其中所述控制器被配置為提供控制信號至所述沉積速率測量組件(210)，特定地其中所述控制器被配置為執行程序代碼，其中在執行所述程序代碼時，進行如權利要求1至8所述的方法。

10.如權利要求9所述的沉積速率控制系統(200)，其中所述控制器(220)包括閉環控制，所述閉環控制包括至少一個比例-積分-微分(PID)控制器，以用于控制所述沉積速率。

11.如權利要求9或10所述的沉積速率控制系統(200)，其中所述沉積速率測量組件(210)包括沉積速率測量裝置(211)，所述沉積速率測量裝置(211)包括振蕩晶體(212)，以用于測量所述沉積速率。

12.如權利要求9至11的任一項所述的沉積速率控制系統(200)，其中所述沉積速率測量組件(210)包括遮板(213)，尤其是可移動的遮板，以用于遮蔽所述沉積速率測量裝置(211)以使所述沉積速率測量裝置(211)不受從測量出口(230)提供的蒸發材料的影響，所述測量出口(230)用于提供蒸發材料至所述沉積速率測量裝置(211)。

13.如權利要求9至12的任一項所述的沉積速率控制系統(200)，其中所述沉積速率測量組件(210)包括至少一個加熱元件(214)以用于將所述沉積速率測量裝置(211)加熱至一定溫度，沉積于所述沉積速率測量裝置(211)上的材料在所述溫度蒸發。

14.一種用于蒸發材料的蒸發源(300)，所述蒸發源包括：

-蒸發坩鍋(310)，其中所述蒸發坩鍋被配置為蒸發所述材料；

-分配管(320)，具有沿著所述分配管的長度設置的一或多個出口，以用于以一沉積速率提供蒸發材料至基板，其中所述分配管(320)與所述蒸發坩鍋(310)流體連通；以及

-如權利要求9至13的任一項所述的沉積速率控制系統(200)。

15.一種沉積設備(400)，用于在真空腔室(410)中以一沉積速率施加材料至基板(444)，所述沉積設備包括如權利要求14所述的至少一個蒸發源(300)。