[發(fā)明專利]定向脈沖注入微電子系統(tǒng)中用于靜電測(cè)試

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201580079936.0
• 申請(qǐng)日: 2015-06-17
• 公開（公告）號(hào): CN107667296B
• 公開（公告）日: 2021-01-05
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: H·格斯納;K·多曼斯基;D·約翰松;B·J·奧爾
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 英特爾IP公司
• 主分類號(hào): G01R31/00
• 分類號(hào): G01R31/00;G01R31/14;G01R31/28
• 代理公司: 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002
• 代理人: 陳松濤;韓宏

說明了用于將脈沖注入微電子系統(tǒng)中以進(jìn)行靜電測(cè)試的定向脈沖注入系統(tǒng)和方法。一個(gè)示例具有變壓器，其通過傳輸線耦合到脈沖源并且耦合到測(cè)試板的導(dǎo)電跡線，以將電脈沖施加到跡線作為測(cè)試脈沖。測(cè)試板連接到被測(cè)微電子器件。該示例還具有耦合到脈沖源的抵消脈沖傳輸線，以及抵消脈沖接觸部，該抵消脈沖接觸部通過抵消脈沖傳輸線耦合到脈沖源并且在跡線的與變壓器相反的一側(cè)上耦合到跡線，以從脈沖源接收抵消信號(hào)，并將抵消信號(hào)耦合到跡線以抵消測(cè)試脈沖的部分。

技術(shù)領(lǐng)域

本說明涉及將脈沖注入微電子系統(tǒng)的一部分以執(zhí)行靜電放電測(cè)試，具體而言，涉及以選定方向注入脈沖。

背景技術(shù)

集成電路易受靜電放電(ESD)的影響。因某些外部設(shè)備或現(xiàn)象引起的突然放電可能導(dǎo)致集成電路(IC)故障。對(duì)于不接地的設(shè)備(例如，便攜式設(shè)備和手持設(shè)備)，該風(fēng)險(xiǎn)尤其高。通過保護(hù)某些部件(部件級(jí)ESD保護(hù))并通過保護(hù)整個(gè)系統(tǒng)(系統(tǒng)級(jí)ESD保護(hù))，可以提高設(shè)備經(jīng)受住ESD的能力。系統(tǒng)級(jí)ESD保護(hù)可以考慮包括外部引腳、可直接接觸的引腳以及內(nèi)部集成部件或引腳的電子設(shè)備的行為，因?yàn)橛泻Φ碾娏髅}沖可能會(huì)到達(dá)電子設(shè)備內(nèi)的ESD敏感區(qū)域或引腳。為了發(fā)現(xiàn)和解決ESD故障，測(cè)試用于進(jìn)行更魯棒的部件或系統(tǒng)的設(shè)計(jì)，并了解和考慮ESD故障的影響。可以使用該結(jié)果來調(diào)整制造和開發(fā)。

ESD測(cè)試是電子系統(tǒng)認(rèn)證的一部分。為了通過這些測(cè)試，重復(fù)地測(cè)試電子系統(tǒng)，以試圖確定ESD故障的來源。目前大多數(shù)的故障補(bǔ)救方法都使用迭代的反復(fù)試驗(yàn)步驟來應(yīng)用，因?yàn)殡y以確定系統(tǒng)中的確切的故障機(jī)制和應(yīng)力路徑。許多的測(cè)試故障是所謂的軟故障，其中在ESD應(yīng)力之后系統(tǒng)進(jìn)入無效狀態(tài)。在大多數(shù)情況下，無效狀態(tài)將要求用戶關(guān)閉并重新啟動(dòng)系統(tǒng)。在測(cè)試期間嘗試對(duì)系統(tǒng)加應(yīng)力時(shí)是一個(gè)耗時(shí)的過程。按照經(jīng)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)和修復(fù)ESD問題，特別是導(dǎo)致軟故障的那些ESD問題，是耗時(shí)的甚至?xí)黾映杀具_(dá)到延遲產(chǎn)品發(fā)布的程度。

附圖說明

在附圖的圖中通過示例而非限制的方式示出了本發(fā)明的實(shí)施例，在附圖中相似的附圖標(biāo)記指代相似的元件。

圖1是根據(jù)實(shí)施例的示例性測(cè)試配置的側(cè)視圖。

圖2是根據(jù)實(shí)施例的將脈沖注入接觸焊盤(contact pad)的電路圖。

圖3是根據(jù)實(shí)施例的將測(cè)試脈沖和抵消脈沖注入測(cè)試板的系統(tǒng)的圖。

圖4是根據(jù)實(shí)施例的將測(cè)試脈沖和抵消脈沖注入測(cè)試板的過程流程圖。

圖5是根據(jù)實(shí)施例的至DUT的測(cè)試脈沖的電流隨時(shí)間的圖。

圖6是根據(jù)實(shí)施例的至非DUT側(cè)的抵消測(cè)試脈沖的電流隨時(shí)間的圖。

圖7是根據(jù)實(shí)施例的DUT處的測(cè)試脈沖的電壓隨時(shí)間的圖。

圖8是根據(jù)實(shí)施例的在非DUT側(cè)的相同的抵消測(cè)試脈沖的電壓隨時(shí)間的圖。

圖9是根據(jù)實(shí)施例的在圖3的測(cè)試系統(tǒng)上的不同位置處的多個(gè)電流幅度隨時(shí)間的圖。

圖10是根據(jù)實(shí)施例的用于測(cè)試管芯或包含被測(cè)試管芯的計(jì)算設(shè)備的框圖。

具體實(shí)施方式

如本文所述，當(dāng)IC處于操作中時(shí)，可以測(cè)試IC的每個(gè)引腳的硬故障和軟故障。當(dāng)系統(tǒng)在系統(tǒng)板上工作時(shí)，并且當(dāng)在發(fā)射器部件和接收器部件之間的母板的測(cè)試線路上傳輸信號(hào)時(shí)，可以將TLP(傳輸線脈沖)定向地施加到被調(diào)查的特定引腳。如本文所述，應(yīng)力脈沖或測(cè)試脈沖可以被直接注入到傳輸信號(hào)線或傳輸線上。應(yīng)力脈沖僅對(duì)線路的選定引腳加應(yīng)力，而不會(huì)干擾線路上的任何高速信令。應(yīng)力脈沖對(duì)該引腳處和該傳輸線上的狀況進(jìn)行測(cè)試，以幫助隔離可能的故障或失效。