[發(fā)明專利]定向脈沖注入微電子系統(tǒng)中用于靜電測(cè)試有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201580079936.0 | 申請(qǐng)日： | 2015-06-17 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN107667296B | 公開(kāi)（公告）日： | 2021-01-05 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | H·格斯納;K·多曼斯基;D·約翰松;B·J·奧爾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 英特爾IP公司 |
| 主分類號(hào)： | G01R31/00 | 分類號(hào)： | G01R31/00;G01R31/14;G01R31/28 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 陳松濤;韓宏 |
| 地址： | 美國(guó)加*** | 國(guó)省代碼： | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū)： | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū)： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 定向 脈沖 注入 微電子 系統(tǒng) 用于 靜電 測(cè)試 | ||
1.一種用于測(cè)試的裝置，包括：
脈沖源，所述脈沖源用于產(chǎn)生電脈沖；
測(cè)試脈沖傳輸線，所述測(cè)試脈沖傳輸線耦合到所述脈沖源；
變壓器，所述變壓器通過(guò)所述傳輸線耦合到所述脈沖源并且耦合到測(cè)試板的導(dǎo)電跡線，以將所述電脈沖施加到所述導(dǎo)電跡線作為測(cè)試脈沖，所述測(cè)試板連接到被測(cè)微電子器件，其中，所述導(dǎo)電跡線具有耦合到所述被測(cè)微電子器件的接觸部；
抵消脈沖傳輸線，所述抵消脈沖傳輸線耦合到所述脈沖源；以及
抵消脈沖接觸部，所述抵消脈沖接觸部通過(guò)所述抵消脈沖傳輸線耦合到所述脈沖源并且在所述導(dǎo)電跡線的與所述變壓器相反的一側(cè)上耦合到所述導(dǎo)電跡線，以從所述脈沖源接收抵消信號(hào)，并將所述抵消信號(hào)耦合到所述導(dǎo)電跡線以抵消所述測(cè)試脈沖的部分。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述脈沖源包括測(cè)試脈沖源和抵消脈沖源。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述抵消脈沖傳輸線還包括被選擇為匹配所述測(cè)試脈沖傳輸線和所述變壓器的電感的電感器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述抵消脈沖傳輸線還包括被選擇為匹配所述測(cè)試脈沖傳輸線和所述變壓器的電阻的電阻器。
5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述抵消脈沖傳輸線還包括二極管以將所述導(dǎo)電跡線與所述抵消脈沖傳輸線去耦合。
6.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述抵消脈沖接觸部是電流接觸部。
7.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述變壓器具有直接連接到所述測(cè)試板的所述導(dǎo)電跡線的次級(jí)繞組。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，還包括可移動(dòng)引腳，所述可移動(dòng)引腳在所述變壓器和所述導(dǎo)電跡線之間，以允許所述變壓器可移除地接觸所述導(dǎo)電跡線。
9.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其中，所述變壓器的次級(jí)繞組由所述導(dǎo)電跡線的部分組成。
10.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，還包括電耦合到所述測(cè)試板并具有多個(gè)接觸焊盤的第二板，其中，所述變壓器通過(guò)所述第二板的接觸焊盤耦合到所述導(dǎo)電跡線。
11.一種用于測(cè)試的方法，包括：
在脈沖源處產(chǎn)生電脈沖；
通過(guò)變壓器將所述電脈沖施加到測(cè)試板的導(dǎo)電跡線作為測(cè)試脈沖，所述變壓器通過(guò)傳輸線耦合到所述脈沖源，所述測(cè)試板連接到被測(cè)微電子器件，其中，所述導(dǎo)電跡線具有耦合到所述被測(cè)微電子器件的接觸部；以及
將來(lái)自抵消脈沖傳輸線的抵消脈沖施加到抵消脈沖接觸部，所述抵消脈沖傳輸線耦合到所述脈沖源，所述抵消脈沖接觸部在所述導(dǎo)電跡線的與所述變壓器相反的一側(cè)上耦合到所述導(dǎo)電跡線，以從所述脈沖源接收抵消信號(hào)，并將所述抵消信號(hào)耦合到所述導(dǎo)電跡線以抵消所述測(cè)試脈沖的部分。
12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，還包括在所述脈沖源處產(chǎn)生所述抵消脈沖。
13.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，還包括使用被選擇為匹配所述測(cè)試脈沖傳輸線和所述變壓器的電感的電感器來(lái)阻抗匹配所述測(cè)試脈沖傳輸線。
14.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中，施加所述抵消脈沖包括通過(guò)電流接觸部將所述抵消脈沖施加到所述導(dǎo)電跡線。
15.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中，施加所述測(cè)試脈沖包括通過(guò)所述變壓器的次級(jí)繞組施加所述測(cè)試脈沖，所述次級(jí)繞組直接連接到所述測(cè)試板的所述導(dǎo)電跡線。
16.根據(jù)權(quán)利要求11或12所述的方法，其中，施加所述測(cè)試脈沖包括通過(guò)所述變壓器的次級(jí)繞組施加所述測(cè)試脈沖，所述次級(jí)繞組為所述導(dǎo)電跡線的部分。
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