[發明專利]諧振子以及諧振裝置

有效

• 申請號: 201580078736.3
• 申請日: 2015-10-21
• 公開（公告）號: CN107431472B
• 公開（公告）日: 2020-05-12
• 發明（設計）人: 后藤雄一;廣田和香奈
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H03H9/17
• 分類號: H03H9/17
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 舒艷君;李洋

1.一種諧振裝置，其特征在于，具備：

諧振子；以及

將所述諧振子夾在之間并相互對置的上蓋和下蓋，

所述諧振子具有：

基部；

多個振動臂，具有壓電體和將該壓電體夾在之間并相互對置的1對電極層，一端與所述基部的前端連接，向遠離所述基部的方向延伸；

保持部，被設置于所述基部以及所述振動臂的周圍的至少一部分；以及

保持臂，一端與所述基部連接，另一端在與所述多個振動臂的所述一端相比更靠所述多個振動臂的另一端側與所述保持部連接，

所述基部、所述多個振動臂以及所述保持臂具有基板以及層疊于該基板的、由熱膨脹率與該基板不同的材料構成的溫度特性修正層，并且由所述基板以及所述溫度特性修正層一體地形成。

2.根據權利要求1所述的諧振裝置，其特征在于，

所述保持部包含基板，該基板與所述基部、所述多個振動臂以及所述保持臂的所述基板一體地形成，

所述保持部的基板具有與所述下蓋對置的第1面，

所述基部的基板具有與所述下蓋對置的第2面，

所述保持臂的基板具有與所述下蓋對置的第3面，

所述基部的所述第2面中的、同在該基部與所述前端對置的后端對應的部分與所述第1面不在同一平面上，

所述保持臂的所述第3面中的、與該保持臂的所述一端對應的部分與所述第1面不在同一平面上。

3.根據權利要求2所述的諧振裝置，其特征在于，

所述多個振動臂的基板具有與所述下蓋對置的第4面，

從所述第4面的與所述多個振動臂的所述另一端對應的部分到所述第1面為止的距離比從所述第2面的與所述基部的所述后端對應的部分到所述第1面為止的距離小。

4.根據權利要求3所述的諧振裝置，其特征在于，

所述多個振動臂的所述第4面中的、與所述多個振動臂的所述一端對應的部分不在所述第1面上，

所述多個振動臂的所述第4面具有從與所述多個振動臂的所述一端對應的部分朝向與所述多個振動臂的另一端對應的部分而與所述第1面接近的部分。

5.根據權利要求3所述的諧振裝置，其特征在于，

所述保持臂的所述第3面隨著從與所述保持臂的所述另一端對應的部分朝向與所述保持臂的所述一端對應的部分而遠離所述第1面。

6.根據權利要求2所述的諧振裝置，其特征在于，

從所述基部的所述前端到所述基部的所述后端為止的長度比所述多個振動臂中的從所述一端到所述另一端為止的長度短。

7.根據權利要求2所述的諧振裝置，其特征在于，

所述保持臂具有一端與所述基部的所述后端連接且沿遠離該后端的方向延伸的子臂，

從所述基部的前端到所述子臂的另一端為止的長度比所述多個振動臂中的從所述一端到所述另一端為止的長度短。

8.根據權利要求1至7中任一項所述的諧振裝置，其特征在于，

所述基板由硅構成，

所述溫度特性修正層由氧化硅構成。