[發明專利]外觀檢查裝置及外觀檢查方法

有效

• 申請號: 201580078072.0
• 申請日: 2015-04-14
• 公開（公告）號: CN107429991B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 田端伸章
• 申請（專利權）人: 雅馬哈發動機株式會社
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25;G01N21/956;H05K13/08
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;謝麗娜

傾斜相機(31b)～(31e)相對于基板(10)的表面(10a)的法線方向(鉛垂方向Z)傾斜地配置，適用于捕捉存在于基板(10)的表面(10a)上的焊料(91)、(92)的側面(圖7)。而且，基于通過傾斜相機(31b)～(31e)拍攝對基板(10)設定的計測區域R(I)而得到的計測區域R(I)，對計測區域R(I)的三維形狀Dt(I)進行計測。因此，即使是計測區域R(I)以包含存在于基板(10)上的焊料(91)、(92)的側面(91a)、(92a)的方式設定的情況下，也能夠準確地計測焊料(91)、(92)的側面(91a)、(92a)的三維形狀Dt(I)。

技術領域

本發明涉及一種檢查基板的外觀的外觀檢查裝置及外觀檢查方法。

背景技術

專利文獻1所記載的視力檢查裝置具備正對于檢查對象物的第一相機和照射格子圖案的格子圖案照射部，基于通過第一相機拍攝照射在檢查對象物上的格子圖案變形的樣子的結果，測定檢查對象物的高度。

現有技術文獻

專利文獻

專利文獻1：日本特表2014-510276號公報

發明內容

發明要解決的課題

這種技術例如能夠用于檢查通過焊料安裝有元件的基板的外觀。但是，上述的第一相機正對檢查對象物。因此，在對基板進行檢查時，有時不一定能夠準確地計測存在于基板上的物體(焊料或者元件等)的側面的三維形狀。順便說一下，在專利文獻1中，設有配置在第一相機的周圍的第二相機。但是，該第二相機只能確認元件的浮起或未插入，不足以消除該問題。

該發明鑒于上述課題而完成，其目的在于提供一種能夠準確地計測存在于基板上的物體的側面的三維形狀的技術。

用于解決課題的技術方案

為了實現上述目的，本發明的外觀檢查裝置具備：基板保持部，對基板進行保持；投影機，向保持于基板保持部的基板照射光；傾斜相機，相對于保持于基板保持部的基板的表面的法線方向傾斜地配置；及控制部，基于從投影機向對基板設定的計測區域照射光并通過傾斜相機拍攝計測區域而得到的拍攝圖像，對計測區域的三維形狀進行計測。

為了實現上述目的，本發明的外觀檢查方法具備以下的工序：對基板設定計測區域；向計測區域照射光并通過相對于基板的表面的法線方向傾斜地配置的傾斜相機拍攝計測區域，獲取拍攝圖像；及基于拍攝圖像對計測區域的三維形狀進行計測。

這樣構成的本發明(外觀檢查裝置及外觀檢查方法)所具備的傾斜相機相對于基板的表面的法線方向傾斜地配置，與上述的正對相機相比，適用于捕捉存在于基板的表面上的物體的側面。而且，基于通過傾斜相機拍攝對基板設定的計測區域而得到的拍攝圖像，對計測區域的三維形狀進行計測。因此，即使是計測區域以包含存在于基板上的物體的側面的方式設定的情況下，也能夠準確地計測物體的側面的三維形狀。

發明效果

本發明能夠準確地計測存在于基板上的物體的側面的三維形狀。

附圖說明

圖1是示意性地表示本發明的外觀檢查裝置所具備的檢查頭的一例的立體圖。

圖2是示意性地表示圖1的檢查頭的一例的俯視圖。

圖3是示意性地示例本發明的外觀檢查裝置的框圖。

圖4是表示為了基板檢查而執行的圖像拍攝的一例的流程圖。

圖5是示意性地說明計測區域的朝向的俯視圖。

圖6是表示為了基板檢查而執行的圖像處理的一例的流程圖。

圖7是示意性地說明傾斜相機所具有的優點的圖。