[發明專利]外觀檢查裝置及外觀檢查方法

有效

• 申請號: 201580078072.0
• 申請日: 2015-04-14
• 公開（公告）號: CN107429991B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 田端伸章
• 申請（專利權）人: 雅馬哈發動機株式會社
• 主分類號: G01B11/25
• 分類號: G01B11/25;G01N21/956;H05K13/08
• 代理公司: 中原信達知識產權代理有限責任公司 11219
• 代理人: 穆德駿;謝麗娜

1.一種外觀檢查裝置，具備：

基板保持部，對基板進行保持；

多臺投影機，相對于保持于所述基板保持部的所述基板的表面的法線方向傾斜地配置，向所述基板照射光；

多臺傾斜相機，相對于保持于所述基板保持部的所述基板的表面的法線方向傾斜地配置，并在從所述基板的表面的法線方向觀察的俯視圖中朝向互不相同的方向且各自的視野在所述基板的表面的檢查范圍內相互重復；及

控制部，基于從所述投影機向在多臺所述傾斜相機的視野重復的檢查范圍內設定的計測區域照射光并通過所述傾斜相機拍攝所述計測區域而得到的拍攝圖像，對所述計測區域的三維形狀進行計測，

多臺所述投影機在從所述基板的表面的法線方向觀察的俯視圖中朝向互不相同的方向且各自的光的照射范圍在所述基板的表面上相互重復，

基于所述投影機向所述計測區域照射光的照射方向從多臺所述投影機中所選擇的所述投影機用于所述計測區域的拍攝，

所述控制部獲取表示通過焊料安裝在所述基板的表面上的元件的位置及外形的元件數據，根據該元件數據設定在拍攝所述計測區域的所述傾斜相機的拍攝方向上要求的拍攝條件，從多臺所述傾斜相機各自的所述拍攝圖像中選擇從滿足所述拍攝條件的方向拍攝所述計測區域的所述傾斜相機的所述拍攝圖像，并用于所述計測區域的三維形狀的計測，

基于對以包括根據元件數據求出的焊料位置的方式所設定的計測區域的朝向進行判定所得的結果來選擇投影機，

所述元件是具有端子的元件，所述控制部對所述焊料的表面設定所述計測區域，并基于所述元件數據判定作為所述計測區域的設定對象的所述焊料所附著的所述端子在與所述基板的表面平行的配置方向上處于所述元件的哪一側的端部，根據該判定的結果來選擇用于拍攝所述計測區域的投影機。

2.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其中，

至少2臺所述傾斜相機以在與所述基板的表面平行且與所述配置方向正交的方向上夾著所述計測區域的方式配置而拍攝所述計測區域，

所述控制部將滿足所述拍攝條件的所述拍攝圖像用于所述計測區域的三維形狀的計測。

3.根據權利要求2所述的外觀檢查裝置，其中，

所述控制部使以在與所述基板的表面平行且與所述配置方向正交的方向上夾著所述計測區域的方式配置的至少2臺所述傾斜相機各自的曝光時間相互重復而執行拍攝。

4.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其中，

所述控制部設定多個所述計測區域，使多臺所述傾斜相機中的至少2臺傾斜相機曝光時間相互重復而執行拍攝，對于多個所述計測區域的各計測區域，從使曝光時間相互重復的所述傾斜相機的所述拍攝圖像中選擇用于所述計測區域的三維形狀的計測的所述拍攝圖像。

5.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其中，

至少2臺所述投影機以在與所述基板的表面平行且與所述配置方向正交的方向上夾著所述計測區域的方式配置，

所述控制部使至少2臺所述投影機按順序亮燈而拍攝所述計測區域。

6.根據權利要求1～5中任一項所述的外觀檢查裝置，其中，

還具備正對相機，所述正對相機朝向所述基板的表面的法線方向，且具有在所述基板的表面上與多臺所述傾斜相機的視野重復的視野，

所述控制部基于從所述投影機向所述計測區域照射光并由所述正對相機拍攝所述計測區域而得到的拍攝圖像和通過所述傾斜相機拍攝所述計測區域而得到的所述拍攝圖像，對所述計測區域的三維形狀進行計測。

7.根據權利要求6所述的外觀檢查裝置，其中，

所述控制部通過基于將由所述傾斜相機拍攝到的所述拍攝圖像轉換為所述正對相機的坐標系的圖像和所述正對相機所拍攝到的所述拍攝圖像來決定各像素中的所述計測區域的高度，對所述計測區域的三維形狀進行計測。

8.根據權利要求1所述的外觀檢查裝置，其中，

所述控制部將計測出的所述計測區域的三維形狀作為點群數據而保持。

9.一種外觀檢查方法，具備以下的工序：

對基板設定計測區域；

從多臺投影機中選擇的投影機向所述計測區域照射光并拍攝所述計測區域而獲取拍攝圖像，該多臺投影機相對于所述基板的表面的法線方向傾斜地配置并在從該法線方向觀察的俯視圖中朝向互不相同的方向；及

基于所述拍攝圖像對所述計測區域的三維形狀進行計測，

在所述外觀檢查方法中，

多臺所述投影機各自的光的照射范圍在所述基板的表面上相互重復，

基于所述投影機向所述計測區域照射光的照射方向從多臺所述投影機中選擇用于所述計測區域的拍攝的所述投影機，

基于從所述投影機向在多臺傾斜相機的視野重復的檢查范圍內設定的計測區域照射光并通過所述傾斜相機拍攝所述計測區域而得到的拍攝圖像，對所述計測區域的三維形狀進行計測，該多臺傾斜相機相對于所述基板的表面的法線方向傾斜地配置并在從所述基板的表面的法線方向觀察的俯視圖中朝向互不相同的方向且各自的視野在所述基板的表面的檢查范圍內相互重復，

并且所述外觀檢查方法中，獲取表示通過焊料安裝在所述基板的表面上的元件的位置及外形的元件數據，根據該元件數據設定在拍攝所述計測區域的所述傾斜相機的拍攝方向上要求的拍攝條件，從多臺所述傾斜相機各自的所述拍攝圖像中選擇從滿足所述拍攝條件的方向拍攝所述計測區域的所述傾斜相機的所述拍攝圖像，并用于所述計測區域的三維形狀的計測，

基于對以包括根據元件數據求出的焊料位置的方式所設定的計測區域的朝向進行判定所得的結果來選擇投影機，

所述元件是具有端子的元件，

所述外觀檢查方法中，對所述焊料的表面設定所述計測區域，并基于所述元件數據判定作為所述計測區域的設定對象的所述焊料所附著的所述端子在與所述基板的表面平行的配置方向上處于所述元件的哪一側的端部，根據該判定的結果來選擇用于拍攝所述計測區域的投影機。